[发明专利]微加工声波加速度计

权利要求书

1、一种加速度传感设备，包括：

起传播介质作用的压电衬底；

在所述衬底上布置的隔板，其中所述隔板被蚀刻以便形成其至少一个蚀刻的空腔；以及

在所述隔板上形成的多个传感元件，其中在所述隔板上面定位所述多个传感元件中的第一传感元件，在所述隔板的侧面定位所述多个传感元件中的第二传感元件，并且在相对于所述第一和第二传感元件的结晶学不同定向处定位所述多个传感元件中的第三传感元件，从而使所述衬底、所述隔板和所述多个传感元件包括微加工加速度传感设备，所述微加工加速度传感设备在所述衬底的一端被固定至处于加速度下的目标，并且在所述衬底的所述自由端处受到力的作用，以便提供表示加速度的信号。

2、权利要求1的设备，其中所述多个传感元件中的所述第二和第三传感元件提供由于与所述衬底相关的压电温度频率系数的各向异性特征而产生的温度数据。

3、权利要求1的设备，进一步包括固定在所述衬底的所述自由端处的惯性物体，从而当所述加速度被施加至所述固定端时，通过固定在所述自由端处的所述惯性物体的采用，所述加速度被转换成成比例的力，其中所述成比例的力通过被施加至由所述衬底提供的所述传播介质的多个力而与声传播相互作用，从而产生表示所述加速度数据的信号。

4、权利要求1的设备，其中所述多个传感元件中的所述第一、第二和第三传感元件的每一个都包括叉指式变换器(IDT)。

5、一种加速度传感设备，包括：

起传播介质作用的压电衬底；

在所述衬底上布置的微加工物体，其中所述微加工物体被蚀刻，以便形成其至少一个蚀刻的空腔；以及

在所述微加工物体上形成的多个传感元件，其中在所述微加工物体上面定位所述多个传感元件中的第一传感元件，在所述微加工物体的侧面定位所述多个传感元件中的第二传感元件，并且在相对于所述第一和第二传感元件的结晶学不同定向处定位所述多个传感元件中的第三传感元件，从而使所述衬底、所述微加工物体和所述多个传感元件包括微加工加速度传感设备，所述微加工加速度传感设备在所述衬底的一端被固定至处于加速度下的目标，并且在所述衬底的所述自由端处受到力的作用，以便提供表示加速度的信号。

6、权利要求5的设备，其中所述微加工物体包括传感器隔板。

7、权利要求5的设备，其中所述微加工物体被布置成包括在所述衬底的背面上形成的通道。

8、一种用于形成微加工加速度传感设备的方法，包括：

提供起传播介质作用的压电衬底；

布置在所述衬底上设置的隔板，其中所述隔板被蚀刻，以便形成其至少一个蚀刻的空腔；以及

形成在所述隔板上形成的多个传感元件，其中在所述隔板上面定位所述多个传感元件中的第一传感元件，在所述隔板的侧面定位所述多个传感元件中的第二传感元件，并且在相对于所述第一和第二传感元件的结晶学不同定向处定位所述多个传感元件中的第三传感元件，从而使所述衬底、所述隔板和所述多个传感元件包括微加工加速度传感设备，所述微加工加速度传感设备在所述衬底的一端被固定至处于加速度下的目标，并且在所述衬底的所述自由端处受到力的作用，以便提供表示加速度的信号。

9、权利要求8的方法，其中所述多个传感元件中的所述第二和第三传感元件提供由于与所述衬底相关的压电温度频率系数的各向异性特征产生的温度数据。

10、权利要求8的方法，进一步包括在所述衬底的所述自由端处固定惯性物体，从而使当所述加速度被施加至所述固定端时，通过固定在所述自由端处的所述惯性物体的采用，所述加速度被转换成成比例的力，其中所述成比例的力通过被施加至由所述衬底提供的所述传播介质的多个力而与声传播相互作用，从而产生表示所述加速度数据的信号。