[发明专利]气体流量计

权利要求书

1.一种气体流量计，其包括：

导管，其在使用中用作气流通路；

电离装置，其在使用中被用来对所述导管中的气流进行电离；

调制电极结构，其被用来调制在已电离气流中的离子分布；以及

至少一个第一检测电极结构，其位于所述调制电极结构的下游，被用来检测在已电离气流中的已调制离子分布，其特征在于：

所述调制电极结构被布置在所述电离装置的下游，并被配置来产生具有至少平行于气流方向的实质分量的电场。

2.根据权利要求1所述的气体流量计，其中，所述检测电极结构被配置来产生具有至少平行于气流方向的实质分量的电场。

3.根据权利要求1所述的气体流量计，其中，所述产生的电场平行于所述气流的方向。

4.根据权利要求1所述的气体流量计，其中，所述调制电极结构包括相对的平面电极对，其被布置得垂直于所述气流的方向。

5.根据权利要求1所述的气体流量计，其中，所述检测电极结构包括相对的平面电极对，其被布置得垂直于所述气流的方向。

6.根据权利要求4所述的气体流量计，其中，所述调制电极结构的所述相对的平面电极对的电极在气流方向上被间隔。

7.根据权利要求5所述的气体流量计，其中，所述检测电极结构的所述相对的平面电极对的电极在气流方向上被间隔。

8.根据权利要求4所述的气体流量计，其中，使用中在所述调制电极结构的所述相对的平面电极对的电极之间产生一电场。

9.根据权利要求5所述的气体流量计，其中，使用中在所述检测电极结构的所述相对的平面电极对的电极之间产生一电场。

10.根据权利要求4所述的气体流量计，其中，所述调制电极结构的所述相对的平面电极对的每个电极均具有多个限定在其中的孔，用作气流通过的通路。

11.根据权利要求5所述的气体流量计，其中，所述检测电极结构的所述相对的平面电极对的每个电极均具有多个限定在其中的孔，用作气流通过的通路。

12.根据权利要求10所述的气体流量计，其中，所述每个电极是以网孔的形式出现的。

13.根据权利要求11所述的气体流量计，其中，所述每个电极是以网孔的形式出现的。

14.根据权利要求1所述的气体流量计，其中，所述调制电板结构包括一个上游电极和一个下游电极，在使用中对各个电极施加各自的调制电势，来调制所述已电离气体中的离子分布，

其中，施加到下游电极上的所述调制电势与施加到上游电极上的调制电势极性相反，并具有选定的幅度，以便在该调制电极的下游，由于上游电极而产生的电场被由于下游的电极产生的电场抵消。

15.根据权利要求1所述的气体流量计，其中，所述调制电极结构被用来捕捉第一种极性的离子，以此来产生已电离的气流，其包括大部分第二种极性的离子，该第二种极性与第一种极性相反。

16.根据权利要求15所述的气体流量计，其中，所述检测电极结构包括至少一个连接至电荷源的电极，因此，大部分离子具有第二种极性的已电离气流相对于所述至少一个电极的移动致使电荷在该电极中重新分布，这会在该电极和所述电荷源之间产生离子分布的电流指示。

17.根据权利要求16所述的气体流量计，其中，所述电荷源是地电势。

18.根据权利要求1所述的气体流量计，其还包括第二检测电极结构，其位于第一检测电极结构下游，每个检测电极结构均被布置得用来检测在已电离气流中的已调制的离子分布。

19.根据权利要求18所述的气体流量计，其中，第一检测电极结构用来捕捉第一种极性的离子，第二检测电极结构用来捕捉第二种极性的离子。

20.根据权利要求19所述的气体流量计，其中，所述第一检测电极结构包括间隔的电极对，在使用中，在所述电极对的电极之间施加电场，来从已电离的气流中捕捉离子，并产生所述离子分布的电流指示。