[发明专利]为在活性气体发生器中点燃和维持等离子体的供电方法和装置

权利要求书

1.一种供电以在活性气体产生器中点燃等离子体的方法，包括：

感性地耦合在等离子体腔室远端的电源，所述等离子体腔室包括能够被转化成等离子体的气体，所述远端电源包括耦合在开关电源和变压器之间的串联谐振电路，所述串联谐振电路还包括与谐振电容串联的谐振电感以及与变压器的变压器主动部分并联的谐振电容；

从横跨变压器主动部分的串联谐振电路提供基本谐振的AC电压，以在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流，所述电流将等离子体腔室中的气体转化成变压器的等离子体继发部分；以及

一旦产生等离子体继发部分，谐振电感限制流至开关电源的电流。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

横跨串联的谐振电路提供自开关电源的第一AC电压，所述第一AC电压具有串联谐振电路的基本谐振频率的频率；

响应第一AC电压，从横跨变压器主动部分的串联谐振电路的基本谐振的AC电压，以在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流，所述电流将等离子体腔室中的气体转化成变压器的等离子体继发部分；以及

将来自开关电源的第一AC电压的频率调制到大于串联谐振电路的基本谐振频率的频率以进一步限制在产生等离子体继发部分后流至开关电源的电流。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

耦合与串联谐振电路的谐振电容串联的多个谐振电感，以使至少一个谐振电感串联耦合于谐振电容的每端；

一旦产生等离子体继发部分，通过多个电感限制流至开关电源的电流。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

将第二电容串联耦合在谐振电感和谐振电容之间或串联耦合在谐振电容和变压器之间，所述第二电容作为隔直电容或第二谐振电容。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括：

横跨串联谐振电路提供来自开关电源的第一AC电压，所述第一AC电压具有串联谐振电路的基本谐振频率的频率；

响应第一AC电压，横跨变压器主动部分提供来自串联谐振电路的基本谐振的AC电压，以在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流，所述电流将等离子体腔室中的气体转化成变压器的等离子体继发部分；以及

将来自开关电源的第一AC电压的频率调制到大于串联谐振电路的基本谐振频率的频率以进一步限制在产生等离子体继发部分后通过多个电感流至开关电源的电流。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述开关电源是半桥逆变器。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述开关电源是全桥逆变器。

8.一种供电以在活性气体产生器中点燃等离子体的方法，包括：

将包含谐振电感和谐振电容的串联谐振电路耦合在开关电源和变压器之间，所述变压器具有变压器主动部分和等离子体继发部分；

横跨变压器主动部分提供来自串联谐振电路的基本谐振的AC电压，以在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流，用以产生等离子体继发部分；

一旦产生等离子体继发部分，谐振电感限制流至开关电源的电流；

将次级绕组耦合于变压器，所述次级绕组具有中心抽头；

将所述次级绕组的中心抽头接地以提供次级绕组的第一引线和第二引线；

将第一引线耦合至位于等离子体继发部分周围的第一位置的第一点燃电极，并将第二引线耦合至位于等离子体继发部分周围的第二位置、与所述第一点燃电极对置的第二点燃电极；以及

将第一极性的电压施加于第一引线并将第二极性的电压施加于第二引线，从而导致横跨第一和第二电极之间的横截面的电场通量以产生等离子体继发部分。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括：

提供包容等离子体继发部分的等离子体腔室；以及

将第一引线耦合于等离子体腔室外表面上的第一点燃电极并将第二引线耦合于等离子体腔室的外表面上与所述第一点燃电极对置的第二点燃电极；以及

将第一极性的电压施加于第一引线并将第二极性的电压施加于第二引线，导致电场通量横贯通过第一电极和第二电极之间的等离子体腔室的横截面以产生等离子体继发部分。