[发明专利]利用光学基准的方法和器件

权利要求书

1.一种将第一元件与第二元件对齐的方法，所述方法包括：

确定第二元件在基准区域内的相对位置；

生成与基准区域内预定位置相交的光学基准光束；

检测第一元件在基准区域内的相对位置；以及

将第一元件与第二元件对齐，其中第一元件是探针元件；第二元件是器件接口元件；以及将第一元件与第二元件对齐包括：基于检测到的探针元件在基准区域内的位置和已经确定的器件接口元件的位置，将基准区域内的器件接口元件与探针元件对齐，

其中，确定器件接口元件相对于基准区域的相对位置还包括：

检测承载有器件接口元件的基准特征相对于基准区域的位置；以及

基于检测到的基准特征的位置和器件接口元件相对于基准特征的预定位置，确定器件接口元件的位置，其中，基于检测到的基准特征的位置和器件接口元件相对于基准特征的预定位置来确定器件接口元件的位置包括：

使用至少一个视场位于基准区域内的第一摄像机，检测基准区域内承载有器件接口元件的基准特征的位置，检测基准区域内探针元件相对于光学基准光束的位置包括：

i)将光学基准光束定位在基准区域内的预定位置；

ii)定位基准区域内第二摄像机的视场；

iii)当光学基准光束位于基准区域内的预定位置时，在视场内形成光学基准光束的图像；

iv)在视场内形成与探针卡相关联的一个或多个探针头梢的图像，所述探针元件是一个或多个探针头之一；

v)确定视场内光学基准光束图像的位置；以及

vi)确定视场内至少一个探针头梢的位置。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，生成与基准区域内预定位置相交的光学基准光束包括：

生成激光加工光束，并沿着与基准区域相交的光路传播所述激光束； 

沿与基准区域相交的光路传播所述激光加工光束；以及

衰减所述激光加工光束；

其中，所述方法还包括：

在基准区域内定位器件；以及

用激光加工光束加工所述器件的材料。

3.根据权利要求1所述的方法，其中：

确定器件接口元件相对于基准区域的相对位置包括：使用第一成像系统从基准区域的第一侧观察基准特征，以确定在器件基板上承载的基准特征在基准区域内的位置；以及

检测基准区域内探针元件相对于光学基准光束的位置包括：使用第二成像系统从基准区域的第二侧观察基准区域内的探针元件，以检测探针元件在基准区域内的位置，所述第二成像系统被刚性地安装在可移动式组件上，所述组件承载其上置有器件接口元件和基准特征的基板，并且所述基准区域的第二侧是基准区域的第一侧的对面。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，使用第二成像系统检测探针元件在基准区域内的相对位置包括：促使可移动式组件移动，以定位第二成像系统，以成像探针元件，其中，所述方法还包括：

移动可移动式组件至预定位置，以在基准区域内定位第二成像系统的视场；

在基准区域内形成探针元件的图像并基于所述图像；以及

确定所述探针元件在基准区域内的位置。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，检测基准区域内探针元件的位置是相对于光学基准光束的位置进行的，并包括：使用包括至少一个摄像机和刚性地安装在可移动式组件上的高和低倍率成像元件的成像系统，以检测探针元件在基准区域内的相对位置，所述可移动式组件承载有其上置有器件接口元件的基板，其中所述方法还包括：

促使可移动式组件移动，以通过低倍率成像元件观察探针元件；以及

基于低倍率图像促使可移动式组件移动，以通过高倍率成像元件观察探针元件，所述高倍率成像元件刚性地安装在低倍率成像元件旁边。 

6.根据权利要求1所述的方法，其中，确定器件接口元件相对于基准区域的相对位置包括：

i)使用激光束定位器系统将第一摄像机的视场定位在基准区域内的至少一个位置；以及

ii)使用第一摄像机检测承载有器件接口元件的基准特征在基准区域内的位置。