[发明专利]实现高效等离子阱的方法和装置

权利要求书

1.一种等离子系统，包括：

微波波导管总成；

多个上游中空中心导电圆盘；

多个下游中空中心导电圆盘；

与所述微波波导管交叉的等离子管总成，所述等离子管 总成具有限定在所述多个上游中空中心导电圆盘和所述多个 下游中空导电圆盘之间的等离子

其中所述多个上游中空中心导电圆盘和所述多个下游中 空中心导电圆盘的至少一个中的第一中空中心导电圆盘包括 第一下游波形外表面和与所述第一下游波形外表面相反设置 的第一上游波形外表面，所述第一中空中心导电圆盘进一步包 括设在所述第一下游波形外表面上的第一多个波峰，所述第一 中空中心导电圆盘进一步包括设在所述第一上游波形外表面 上的第二多个波峰，以及

所述多个上游中空中心导电圆盘和所述多个下游中空中 心导电圆盘的至少一个中的第二中空中心导电圆盘包括第二 上游波形外表面和与所述第二上游波外表面相反设置的第二 下游波形外表面，所述第二中空中心导电圆盘进一步包括设在 所述第二下游波形外表面上的多个第三波峰，所述第二中空中 心导电圆盘进一步包括设在所述第二上游波形外表面上的多 个第四波峰，所述第二上游波形外表面面向所述第一下游波形 外表面。

2.根据权利要求1所述的等离子系统，其中所述第一多个波峰至 少包括第一波峰和第二波峰，所述第一波峰围绕所述等离子管 总成，所述第二波峰围绕所述第一波峰。

3.根据权利要求1所述的等离子系统，其中所述下有多个中空中 心导电圆盘至少包括下游外部中空中心导电圆盘和下游内部 中空中心导电圆盘，所述下游外部中空中心导电圆盘设在相对 所述下游内部中空中心导电圆盘的下游。

4.根据权利要求3所述的等离子系统，进一步包括下游冷却歧 管，所述下游冷却歧管相对所述下游外部中空中心导电圆盘设 在第一总成装置和第二总成装置的至少一个中，所述第一总成 装置特征在于所述下游冷却歧管面向上游表面与所述下游外 部中控中心导电圆盘的面向下游表面之间有很小或者没有空 气间隙，所述第二总成装置特征在于所述下游冷却歧管设在所 述下游外部中空中心导电圆盘附近。

5.根据权利要求4所述的等离子系统，其中所述下游冷却歧管相 对所述下游外部中空中心导电圆盘设在所述第一总成装置中。

6.根据权利要求4所述的等离子系统，其中所述下游冷却歧管相 对所述下游外部中空中心导电圆盘设在所述第二总成装置中。

7.根据权利要求3所述的等离子系统，其中所述下游外部中空中 心导电圆盘由围绕所述等离子管总成内的通道的第一中空中 心导电圆盘形成，其中第二中空中心导电圆盘设在所述第一中 空中心导电圆盘的上游，所述第二中空中心导电圆盘也围绕所 述等离子管总成内的所述通道，以及第一间隙区域设在所述第 一中空中心导电圆盘与所述第二中空中心导电圆盘之间。

8.根据权利要求7所述的等离子系统，其中所述第一间隙区域形 成空气间隙。

9.根据权利要求7所述的等离子系统，其中所述第一间隙区域由 实心材料而不是空气形成。

10.根据权利要求7所述的等离子系统，其中所述下游内部中空中 心导电圆盘由所述第二中空中心导电圆盘组成，其中第三中空 中心导电圆盘设在相对所述第二中空中心导电圆盘的上游，以 及第二间隙区域设在所述第二中空中心导电圆盘和所述第三 中空中心导电圆盘之间。

11.根据权利要求10所述的等离子系统，其中所述第二间隙区域 形成空气间隙。

12.根据权利要求3所述的等离子系统，进一步包括上游冷却歧 管，所述上游冷却歧管设置成使得所述上游冷却歧管的面向上 游表面与所述上游多个中空中心导电圆盘中的一个上游外部 中空中心导电圆盘的面向上游表面之间有很小或者没有空气 间隙。