[发明专利]用于制造半导体装置的激光辐射设备和方法

权利要求书

1.一种激光辐射设备，包括：

激光振荡器；和

铰接的光束传播器，传播由所述激光振荡器产生的激光束，

其中所述铰接的光束传播器包括：

至少第一和第二铰接部分；

多个管道，其中所述管道中的第一管道的一端通过所述第一铰接部分连接到所述管道中的第二管道的一端，并且其中所述第一管道的另一端通过所述第二铰接部分连接到所述管道中的第三管道的一端；

所述激光束的至少第一和第二线路改变器，所述第一和第二线路改变器分别设置在所述第一和第二铰接部分中；和

包括在所述第一管道内的传递透镜，

其中所述传递透镜设置成使得插入所述传递透镜的所述第一和第二线路改变器相互共轭。

2.一种激光辐射设备，包括：

激光振荡器；和

铰接的光束传播器，传播由所述激光振荡器产生的激光束，

其中所述铰接的光束传播器包括：

第一、第二和第三管道；

连接到所述第一管道一端的第一铰接部分；

连接到所述第一管道另一端和所述第二管道端部的第二铰接部分；

所述激光束的第一和第二线路改变器，所述第一和第二线路改变器分别设置在所述第一和第二铰接部分中；

分别包括在所述第一和第二管道内的第一和第二传递透镜，

其中所述第二传递透镜设置成使得所述激光振荡器的发射口与所述第二线路改变器相互共轭，

其中所述第一传递透镜设置成使得插入所述第一传递透镜的所述第一和第二线路改变器相互共轭。

3.一种激光辐射设备，包括：

激光振荡器；和

铰接的光束传播器，传播由所述激光振荡器产生的激光束，

其中所述铰接的光束传播器包括：

第一、第二和第三管道；

连接到所述第一管道一端与第二管道端部的第一铰接部分；

连接到所述第一管道另一端和第三管道一端的第二铰接部分；

在所述第三管道的另一端提供的狭缝，所述激光束从所述狭缝射出；

所述激光束的第一和第二线路改变器，所述第一和第二线路改变器分别设置在所述第一和第二铰接部分中；和

分别位于所述第一与第二管道内的第一和第二传递透镜，

其中所述第二传递透镜设置成使得所述激光振荡器的发射口与所述第二线路改变器相互共轭，

其中所述第一传递透镜设置成使得插入所述第一传递透镜的所述第一和第二线路改变器相互共轭。

4.一种激光辐射设备，包括：

激光振荡器；和

铰接的光束传播器，传播由所述激光振荡器产生的激光束，

其中所述铰接的光束传播器包括：

第一、第二和第三管道；

连接到所述第一管道一端与第二管道端部的第一铰接部分；

连接到所述第一管道另一端和第三管道一端的第二铰接部分；

在所述第三管道的另一端提供的狭缝，所述激光束从所述狭缝射出；

所述激光束的第一和第二线路改变器，所述第一和第二线路改变器分别设置在所述第一和第二铰接部分中；和

第一和第二传递透镜，

设置在所述狭缝和被所述激光束辐射的表面之间的成像透镜，

其中所述第一传递透镜设置成使得插入所述第一传递透镜的第一和第二线路改变器相互共轭，

其中所述第二传递透镜设置成使得所述狭缝和所述被所述激光束辐射的表面相互共轭。

5.一种激光辐射设备，包括：

多个激光振荡器；和

多个铰接的光束传播器，每个铰接的光束传播器传播分别由每个激光振荡器产生的激光束，

其中所述多个铰接的光束传播器中的每一个光束传播器包括：

多个管道，其中所述管道中的第一管道的一端通过第一铰接部分连接到所述管道中的第二管道的一端，并且其中所述第一管道的另一端通过第二铰接部分连接到所述管道中的第三管道的一端；

分别位于所述第一和第二铰接部分中的第一和第二激光束线路改变器；和

包括在所述第一管道内的传递透镜，

其中所述传递透镜设置成使得插入所述传递透镜的所述第一和第二线路改变器相互共轭。