[发明专利]用于产生高效下游微波等离子系统的方法和装置

权利要求书

1.一种等离子系统，其包括：

微波波导管总成；和

等离子管总成，其与所述微波波导管总成相交，所述等离子管总成具有由上游多个等离子阱和下游多个等离子阱限定的等离子保持区域，

其中在所述上游多个等离子阱和所述下游多个等离子阱至少一个中的第一等离子阱包括第一下游波状外部表面和位于所述第一下游波状外部表面相对侧的第一上游波状外部表面，所述第一等离子阱还包括第一多个波峰，其以平行于所述等离子管总成的第一方向突出于所述第一下游波状外部表面，从而形成所述第一下游波状外部表面，所述第一等离子阱还包括第二多个波峰，其以平行于所述等离子管总成的第二方向突出于所述第一上游波状外部表面，从而形成所述第一上游波状外部表面，以及

在所述上游多个等离子阱和所述下游多个等离子阱至少一个中的第二等离子阱包括第二上游波状外部表面和位于所述第二上游波状外部表面相对侧的第二下游波状外部表面，所述第二等离子阱还包括第三多个波峰，其以平行于所述等离子管总成的所述第一方向突出于所述第二下游波状外部表面，从而形成所述第二下游波状外部表面，所述第二等离子阱还包括第四多个波峰，其以平行于所述等离子管总成的所述第二方向突出于所述第二上游波状外部表面，从而形成所述第二上游波状外部表面，所述第二上游波状外部表面面向所述第一下游波状外部表面。

2.根据权利要求1所述的等离子系统，其中所述第一多个波峰至少包括第一波峰和第二波峰，所述第一波峰围绕所述等离子管总成，所述第二波峰围绕所述第一波峰。

3.根据权利要求1所述的等离子系统，其中所述下游多个等离子阱至少包括下游外部等离子阱和下游内部等离子阱，所述下游外部等离子阱设在相对于所述下游内部等离子阱的下游。

4.根据权利要求3所述的等离子系统，其进一步包括下游冷却歧管，所述下游冷却歧管相对所述下游外部等离子阱设在第一总成装置和第二总成装置的至少一个中，所述第一总成装置特征在于在所述下游冷却歧管的面向上游表面和所述下游外部等离子阱的面向下游表面之间基本上没有空气间隙，所述第二总成装置特征在于所述下游冷却歧管设为邻近所述下游外部等离子阱。

5.根据权利要求4所述的等离子系统，其中所述下游冷却歧管相对所述下游外部等离子阱设在所述第一总成装置中。

6.根据权利要求4所述的等离子系统，其中所述下游冷却歧管相对所述下游外部等离子阱设在所述第二总成装置中。

7.根据权利要求3所述的等离子系统，其中所述下游外部等离子阱由围绕所述等离子管总成内的通道的第一中空导电圆盘形成，其中第二中空导电圆盘设在所述第一中空导电圆盘的上游，所述第二中空导电圆盘也围绕所述等离子管总成内的所述通道，以及第一间质区设在所述第一中空导电圆盘和所述第二中空导电圆盘之间。

8.根据权利要求7所述的等离子系统，其中所述第一间质区形成空气间隙。

9.根据权利要求7所述的等离子系统，其中所述第一间质区由固体材料而非空气形成。

10.根据权利要求7所述的等离子系统，其中所述下游内部等离子阱由所述第二中空导电圆盘形成，其中第三中空导电圆盘设在相对所述第二中空导电圆盘的上游，以及第二间质区设在所述第二中空导电圆盘和所述第三中空导电圆盘之间。

11.根据权利要求10所述的等离子系统，其中所述第二间质区形成空气间隙。

12.根据权利要求10所述的等离子系统，其中所述第二间质区由固体材料而非空气形成。

13.根据权利要求3所述的等离子系统，其中所述下游外部等离子阱由围绕所述等离子管总成内的通道的第一实心导电圆盘形成，其中第二实心导电圆盘设在所述第一实心导电圆盘的上游，所述第二实心导电圆盘也围绕所述等离子管总成内的所述通道，以及第一间质区设在所述第一实心导电圆盘和所述第二实心导电圆盘之间。

14.根据权利要求13所述的等离子系统，其中所述第一间质区形成空气间隙。

15.根据权利要求13所述的等离子系统，其中所述第一间质区由固体材料而非空气形成。