[发明专利]写入装置和方法

权利要求书

1.一种用于工件构图的装置，所述装置包括：

用于工件构图的至少两个光学写入单元，所述至少两个光学写入单元包 括独立的最终透镜；

构造成用于检测所述至少两个光学写入单元的特征的标定传感器，其中 具有独立最终透镜的所述至少两个光学写入单元对聚焦、功率和位置中的每 一个使用同一标定传感器。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述标定传感器通过在所述标定 传感器上扫描所述至少两个光学写入单元而检测所述光学写入单元的特征。

3.根据权利要求1所述的装置，进一步包括，

至少一个控制单元，用于根据所检测的特征来调整与至少一个光学写入 单元相关联的至少一个参数值。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述至少一个控制单元将至少一 个所检测的特征与至少一个设置参数值比较，并根据该比较结果调整至少一 个参数值。

5.根据权利要求3所述的装置，其中所述至少一个参数值是光学写入 单元的位置。

6.根据权利要求3所述的装置，其中所述至少一个参数值是光学写入 单元的功率。.

7.根据权利要求3所述的装置，其中所述至少一个参数值是光学写入 单元的焦点。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述标定传感器包括至少两个检 测器，所述至少两个检测器的每一个检测所检测的特征中的一个。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少两个光学写入单元是单 点写入单元。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少两个光学写入单元是多 点写入单元。

11.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少两个光学写入单元是空 间光调制器。

12.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置是柱形图案发生器。

13.一种用于工件构图的装置，包括：

用于保持至少一个工件的柱形保持器；以及

用于对所述至少一个工件构图的至少一个转子扫描器，所述至少一个转 子扫描器包括带有独立的最终透镜的至少两个光学写入单元，所述转子扫描 器被构造成相对所述柱形保持器沿一轴向移动，并被构造成在一轴上旋转， 该旋转轴大致垂直于所述轴向方向；

构造成用于检测所述至少两个光学写入单元的特征的标定传感器，其中 具有独立最终透镜的所述至少两个光学写入单元对聚焦、功率和位置中的每 一个使用同一标定传感器。

14.根据权利要求13所述的装置，其中所述柱形保持器保持所述至少一 个工件，从而至少部分包围所述转子扫描器，所述至少一个转子扫描器通过 在径向向外方向上发出电磁辐射而在所述至少一个工件上生成螺旋图案。

15.根据权利要求13所述的装置，其中所述转子扫描器是环形的，并且 构造成通过在径向向内方向上发出电磁辐射而在所述至少一个工件上生成 螺旋图案。

16.根据权利要求15所述的装置，其中所述柱形保持器进一步包括用于 支撑所述环形转子扫描器的空气轴承。。

17.根据权利要求13所述的装置，其中所述至少两个光学写入单元是单 。点激光器。

18.根据权利要求13所述的装置，其中所述至少两个光学写入单元是多 点激光器。

19.根据权利要求13所述的装置，其中所述至少两个光学写入单元是空 间光调制器。

20.根据权利要求13所述的装置，其中所述柱形保持器是静态的。

21.根据权利要求13所述的装置，其中所述至少两个光学写入单元在所 述柱形保持器的外部上布置成至少一行。

22.根据权利要求13所述的装置，其中所述至少两个光学写入单元在所 述柱形保持器的内部上布置成至少一行。