[发明专利]写入装置及写入方法

权利要求书

1.一种在工件上形成图案时减小可见条纹或条带影响的方法，该方法 包括：

在像素栅格上扫描至少一个光学写入单元，像素栅格相对图案特征的轴 成一角度设置，该角度不同于0°、45°或90°，其中所述至少一个光学写入单 元的扫描的轴方向和图案特征的轴设置成使得所述至少一个光学写入单元 的扫描的轴和图案特征的轴彼此相对旋转，且像素栅格的单像素不重复地印 在工件上的相邻图案像素的边缘上。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述扫描的步骤形成至少两根等 距扫描线。

3.如权利要求1所述的方法，其中，所述扫描的步骤沿至少两个方向 进行。

4.如权利要求1所述的方法，其中，至少一个光学写入单元是空间光 调制器。

5.如权利要求4所述的方法，其中，所述空间光调制器的轴相对于写 入方向倾斜。

6.如权利要求4所述的方法，其中，所述扫描的步骤沿两个方向进行， 所述图案特征的轴、空间光调制器的轴和扫描方向不平行。

7.一种在工件上产生图案的写入装置，该装置包括：

写入头，其包括用于扫描像素栅格的至少一个光学写入单元，像素栅格 相对图案特征的轴成一角度设置，该角度不同于0°、45°或90°，其中，所述 写入头的轴和图案特征的轴设置成使得像素栅格的单像素不重复地印在工 件上的相邻图案像素的边缘上，不印成像素栅格的单像素列。

8.如权利要求7所述的装置，其中，所述写入头构造成用于在扫描过 程中形成至少两行等距扫描线。

9.如权利要求7所述的装置，其中，所述写入头用于沿至少两个方向 扫描工件。

10.如权利要求7所述的装置，其中，所述至少一个光学写入单元具有 至少一行像素。

11.如权利要求7所述装置，其中，所述至少一个光学写入单元是空间 光调制器。

12.如权利要求11所述的装置，其中，所述空间光调制器是一维的。

13.如权利要求7所述的装置，其中，所述至少一个光学写入单元是空 间光调制器，并且用于沿至少二个方向扫描工件，且所述扫描方向与写入头 的轴不平行、所述扫描方向与图案特征的轴不平行、以及写入头的轴和图案 特征的轴不平行。

14.一种当利用转子扫描器系统在工件上形成图案时减小可见条纹或条 带影响的方法，该方法包括：

旋转具有多个光学写入单元的转子扫描器，每个光学写入单元发射电磁 辐射，在旋转转子扫描器的同时，通过沿垂直于转子扫描器的旋转平面的方 向移动至少一个工件和至少一个写入头来扫描工件；和

在像素栅格上扫描多个光学写入单元的至少一个光学写入单元，像素栅 格相对于图案特征的轴成一角度设置，该角度不同于0°、45°或90°，其中， 所述像素栅格轴、图案特征的轴相对彼此旋转，使得像素栅格的单像素不重 复地印在工件的相邻图案像素的边缘上。

15.如权利要求14所述的方法，其中，所述至少一个光学写入单元具 有至少一行像素，且所述行相对于写入方向倾斜。

16.如权利要求14所述的方法，其中，所述电磁辐射沿相对于转子扫 描器的径向发射。

17.如权利要求14所述的方法，其中，所述电磁辐射沿相对于转子扫 描器的轴向发射。

18.如权利要求14所述的方法，其中，所述工件的扫描步骤包括：

沿第一方向扫描工件，以形成像素栅格，所述像素栅格与第一方向和像 素栅格的轴向中的至少一个形成一角度，该角度不同于0°、45°或90°。

19.如权利要求14所述的方向，其中，所述工件的扫描步骤包括，

沿第一方向在工件中扫描，以在工件上形成螺旋图案。