[发明专利]用于丛集工具的自动化状态估计系统以及操作该系统的方法

权利要求书

1.一种估计从集工具的状态的方法，包括下列步骤：

经由与用于制造工艺线的所述丛集工具通信的接口自所述丛集工具接收工艺讯息，所述丛集工具包括多个实体；以及

根据每一实体的功能产能以及所述工艺讯息，而决定该丛集工具的当前总状态的衡量标准，其中所述工艺讯息包括指定所述实体的每一实体的多个可利用状态中的一个可利用状态的特定工具信息，其中所述多个可利用状态包括生产状态、待命状态、工程状态、预定停机状态、非预定停机状态以及非预定状态，且其中该多个可利用状态按照下列自最低至最高优先级的顺序分等级成：生产状态、待命状态、工程状态、预定停机状态、非预定停机状态以及非预定状态，以及其中决定所述衡量标准包括：

确定该丛集工具的设定矩阵，该设定矩阵包括用于每一实体的行、用于工艺步骤的列以及每一实体的产能加权，该工艺步骤决定通过所述丛集工具的工艺流程的一个或多个实体履行的相等工艺，所述产能加权表示为：表示所述丛集工具的最小产能的工艺步骤相对于每一实体的百分率；以及

使用所述设定矩阵及所述优先级等级以一组值的形式决定所述总状态的所述衡量标准，每一值分别与所述可利用状态中的一个可利用状态相关联，且分别代表所述一个可利用状态对该总状态的加权贡献。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括下列步骤：

根据该总状态的所述衡量标准而测量可靠度、可利用度及可维修度中的至少一者；

通过至少一个实体的状态改变所确定的作业时间间隔而决定所述总状态的更新的衡量标准

确定所述多个实体中的每一实体的加权产能，其中具有最低产能的实体被用来作为参考，其中根据每一实体中的指定的工艺的周期时间以及在每一实体中被同步处理的基材的数目而决定每一实体的所述加权产能；以及

根据所述工艺讯息而动态地更新该周期时间。