[发明专利]溅射靶结构体有效
| 申请号： | 200680049619.5 | 申请日： | 2006-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101360843A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 国谷勉;铃木信幸;寺师晶 | 申请（专利权）人： | 先进材料技术股份有限公司;国谷勉 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C49/06;C22C101/04;C22C101/10;C22C101/14;C22C101/18;C22C101/22 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 结构 | ||
【权利要求书】：
1.溅射靶结构体的制造方法，该溅射靶结构体由溅射靶和 垫板接合而成，其中，垫板由与溅射靶材料的线膨胀系数之差 在2×10-6/K以下的材料构成，在垫板的至少一面配置厚度为 0.3～1.5mm的铜板，
垫板的内部存在冷却水路，且该内部存在的冷却水路为铜 制或不锈钢制的管，
其特征在于，垫板通过如下方法制得：将铜板安装在增强 材料的烧成体上，将上面安装有铜板的增强材料的烧成体设置 在高压铸造用模具内，在该模具内浇铸铝熔体、高压铸造而制 得，其中，该增强材料的烧成体是将内部装有冷却水路管及增 强材料浆料的模具进行热处理而得到的。
2.根据权利要求1所述的溅射靶结构体的制造方法，构成 前述垫板的材料由复合材料形成，且该材料具有3.5～17×10-6/K的线膨胀系数，所述复合材料如下形成：将铝或铝合金作为 基体，在该基体中配合选自炭、碳化硅、氧化铝、氮化硅、多 铝红柱石及硼酸铝所组成的组中的1种或2种以上的颗粒状或纤 维状的增强材料而成。
3.根据权利要求1所述的溅射靶结构体的制造方法，溅射 靶和前述垫板通过铟、锡或这些的合金接合。
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