[发明专利]装卸装置、测试头及电子零件测试装置

权利要求书

1.一种装卸装置，用于在备有第一基板和安装上述第一基板的第二基板的测试头中，相对于上述第二基板对上述第一基板进行装卸；其特征在于，备有卡合机构、促动器和传递机构；

上述卡合机构，能够与上述第一基板卡合，以能够进行直线运动的方式被保持；

上述促动器，供给用于使上述卡合机构进行直线运动的驱动力；

上述传递机构，设在上述促动器与上述卡合机构之间，把从上述促动器输入的驱动力传递给上述卡合机构；

上述传递机构通过旋转运动传递从上述促动器输入的驱动力。

2.如权利要求1所述的装卸装置，其特征在于，上述传递机构使从上述促动器输入的驱动力增大并传递给上述卡合机构。

3.如权利要求1或2所述的装卸装置，其特征在于，上述传递机构具有连杆机构，在该连杆机构中，上述促动器的驱动轴连接在力点上，上述卡合机构连接在作用点上。

4.如权利要求3所述的装卸装置，其特征在于，上述连杆机构备有第一连杆、第二连杆和第三连杆；

上述第一连杆通过第一关节可旋转地与上述促动器的驱动轴连接；

上述第二连杆具有可旋转地固定的支点，通过第二关节可旋转地与上述第一连杆连接；

上述第三连杆通过第三关节可旋转地与上述第二连杆连接，并且，通过第四关节可旋转地与上述卡合机构连接。

5.如权利要求4所述的装卸装置，其特征在于，上述第一基板是安装着与被测试电子零件电接触的插座的品种对应适配器；

上述第二基板是安装着上述品种对应适配器、中继上述被测试电子零件与测试头本体之间的电连接的接口装置本体；

上述卡合机构朝着上述品种对应适配器能直线运动地保持在上述接口装置本体上。

6.如权利要求4所述的装卸装置，其特征在于，上述第一基板是安装了与被测试电子零件电接触的探针的探测卡；

上述第二基板是安装着上述探测卡、中继上述被测试电子零件与测试头本体之间的电连接的接口装置本体；

上述卡合机构朝着上述探测卡能直线运动地保持在上述接口装置本体上。

7.如权利要求3所述的装卸装置，其特征在于，上述连杆机构备有连杆、第一关节和第二关节；

上述连杆具有可旋转地固定着的支点；

上述第一关节将上述连杆的一方端部可旋转地连接在上述促动器的驱动轴上；

上述第二关节将上述连杆的另一方端部可旋转地连接在上述卡合机构上。

8.如权利要求7所述的装卸装置，其特征在于，上述第一基板是中继被测试电子零件与测试头本体之间的电连接的接口装置；

上述第二基板是可装卸地安装着上述接口装置的测试头本体；

上述卡合机构能沿相对于上述接口装置的主面实质上平行的方向做直线运动地保持在上述测试头本体上。

9.一种测试头，其特征在于，备有第一基板、安装着上述第一基板的第二基板、和用于使上述第一基板相对于上述第二基板装卸的如权利要求1至8中任一项记载的装卸装置。

10.一种电子零件测试装置，用于测试被测试电子零件的电气特性，其特征在于，备有如权利要求9记载的测试头和测试机，上述测试头与上述被测试电子零件电连接；上述测试机经由上述测试头把测试信号输入给上述被测试电子零件并使其动作，检查其应答信号。