[发明专利]使用稳定流体溶液的基片制备和制造稳定流体溶液的方法

权利要求书

1.一种用于制造在制备基片的表面中使用的溶液的方法，该溶液 包括：

提供连续媒介；

将聚合物材料添加到该连续媒介；以及

将脂肪酸添加到具有该聚合物材料的该连续媒介，该聚 合物材料形成实体网状体，该网状体在溶液中施加力来克服该 脂肪酸受到的浮力，由此防止该脂肪酸在该溶液内移动，直到 通过施加的搅拌超过该聚合物材料的屈服应力，所施加的搅拌 用于将该溶液从容器传输到将该溶液施加到该基片表面的制 备台。

2.根据权利要求1所述的方法，其中该连续媒介是去离子(DI) 水、碳氢化合物、基体流体、氢氟酸(HF)溶液、氨基溶液 或去离子水与化学制剂的混合物中的一种。

3.根据权利要求1所述的方法，其中该聚合物材料是Carbapol、 Stabileze、Rheovis ATA和Rheovis ATN、聚(丙烯酸)、鹿角 菜胶、甲基纤维素、羟丙基甲基纤维素、羟乙基纤维素、阿拉 伯树胶(阿拉伯胶)、黄蓍胶、聚丙烯酸酯、卡波姆之一。

4.根据权利要求1所述的方法，其中该脂肪酸由月桂酸、棕榈酸、 硬脂酸、油酸、亚油酸、亚麻酸、花生四烯酸、顺9-二十碳 烯酸、酪酸、丁酸、己酸、辛酸、豆蔻酸、十七酸、二十二(碳) 烷酸、lignoseric酸、9-十四烯酸、棕榈油酸、神经酸、十八碳 四烯酸、二十碳五烯酸、巴西烯酸、鰶鱼酸、二十四(烷)酸、 或蜡酸之一形成。

5.根据权利要求1所述的方法，其中该脂肪酸是硬脂酸，该连续 媒介是去离子水，和该聚合物材料是聚(丙烯酸)。

6.根据权利要求5所述的方法，进一步包括：

(i)以范围在大约5RPM到大约1500RPM之间的较高 的每分钟转速(RPM)将该聚(丙烯酸)与该连续媒介混合；

(ii)将该溶液加热至大约75℃并且添加表面活性剂；

(iii)添加中和碱性成分；

(iv)当添加该硬脂酸时，混合该溶液，以便该硬脂酸基 本上溶解在该溶液中；

(v)添加螯合剂，同时该溶液在大约75℃；以及

(vi)冷却该溶液以允许成熟。

7.根据权利要求1所述的方法，其中该脂肪酸从由硬脂酸(CH₃(CH₂)₁₆COOH)、棕榈酸和油酸组成的组中选取。

8.一种使用用于清洁基片的溶液的方法，包括：

在容器中提供溶液，该溶液由至少连续媒介、聚合物材 料和固体材料混合，该溶液中的聚合物材料将有限的屈服应力 赋予给该材料，从而该溶液保持为稳定的弹性凝胶体形态，该 稳定的弹性凝胶体形态配置为，在该溶液合成之后以及在该溶 液的任何存储过程中，如果低于该有限的屈服应力的应力传递 到该溶液，将该固体材料保持在适当的位置并且防止该固体材 料在该溶液中移动；

在该溶液上施加至少最小剪切应力，该最小剪切应力至 少大于该有限的屈服应力从而该稳定弹性凝胶体呈现出类似 流体的行为；

在传递该最小剪切应力后，使该溶液流出该容器，从该 容器流出的溶液具有溶液中的固体材料的混合稠度；以及

将该溶液施加到制备系统，用于施加到该基片表面。

9.根据权利要求8所述的使用用于清洁基片的溶液的方法，其中 该固体材料是脂肪酸，其由月桂酸、棕榈酸、硬脂酸、油酸、 亚油酸、亚麻酸、花生四烯酸、顺9-二十碳烯酸、酪酸、丁 酸、己酸、辛酸、豆蔻酸、十七酸、二十二(碳)烷酸、lignoseric 酸、9-十四烯酸、棕榈油酸、神经酸、十八碳四烯酸、二十碳 五烯酸、巴西烯酸、鰶鱼酸、二十四(烷)酸、蜡酸之一形成。

10.根据权利要求8所述的使用用于清洁基片的溶液的方法，其中 该连续媒介是去离子(DI)水、碳氢化合物、基体流体、氢 氟酸(HF)溶液、氨基溶液或去离子水与化学制剂的混合物 中的一种。