[发明专利]进给装置

说明书

技术领域

本发明涉及属于机械领域的用于使往复动作体进行往复运动的进给装置。

背景技术

众所周知，进给装置多用于制造部门及其他部门。关于进给装置，有传送带式进给装置、螺纹式进给装置、缸式进给装置、正时带式进给装置、机器人等各种装置。这样的进给装置也有的被说成搬送系统或往复运动装置。

在上述装置中，在传送带式进给装置的情况下，价格低，适于远距离搬送，但是，搬送物的定位精度低，与其他装置相比搬送速度也慢。而且，传送带需要与搬送距离成比例的比较大的设置空间。螺纹式进给装置在研磨滚珠丝杠的使用中，搬送精度提高，另外也可以进行中高速等的搬送。然而，在使用高价的研磨滚珠丝杠的情况下，会导致成本大幅上升，所以装置变得昂贵。另外，螺纹式进给装置不仅节省空间，而且搬送距离短，所以难以进行像传送带那样的远距离搬送。缸式进给装置也与螺纹式进给装置相同，存在难以进行远距离搬送和价格高的问题，也难以实现能称为节省空间型的紧凑化。其中，缸式进给装置在难以任意变更搬送行程这一点上存在实用上的难点。另一方面，正时带式进给装置比使用研磨滚珠丝杠的螺纹式进给装置价格低，但是在期待高的定位精度而使用高精度产品等时，与传送带相比，价格高出很多。进而，虽然正时带能够设定比螺纹进给装置和缸式进给装置长的搬送距离，但是存在制作上的制约或者会出现带的松弛，因此难以确保像传送带那样的搬送距离。即，在正时带式进给装置中，虽然不像传送带那样又长又大，但是搬送距离相应缩短。与此相对，关于机器人，精度越格外地高，功能越高，所以价格过高。另外机器人不适于远距离间的连续搬送。

如上可知，已有的进给装置都各有利弊。关于只集中了这些优点的有用且有益的进给装置，能够将其具体化的开发尚未进行。

进一步说明滚珠丝杠方式和正时带方式等已有的进给机构，在这些情况下，不能避免因驱动系统的部件摩擦而引起的微小粉尘的产生(μm单位以下的发尘)。关于微小粉尘，存在不将其视为问题的领域和必须将其彻底排除的领域。在后者的情况下特别要求极高清洁度的领域是液晶基板的制造领域和半导体的制造领域。

作为发尘对策探求提高部件的耐磨损性或使用发尘降低用润滑脂的方法。关于装置，作为利用电磁力的非接触式动力装置，开发了几乎没有发尘部分的线性伺服致动器。在将这些综合实施时，要求极高的清洁度的制造领域等也能够保持既定的清洁的环境。尽管如此，线性伺服致动器虽然作为发尘对策很好，但是成本过高。因此，谋求能够确保与线性伺服制动器同等程度或更高程度的清洁度、而且在成本方面大大低于线性伺服制动器的方法。

另外，关于进给机构用的低发尘技术，只要不会导致成本极度升高，希望以多重的对策实现万全。那样的话，要么提高产品的成品率，要么削减次品的处理成本，因此也实现了总体上的经济性。

进而，精密加工装置等显而易见，高度的精密进给是不可或缺的。因此，对应于用途来满足高精密的进给也成为重要的课题。

除此以外，在进给装置的情况下，重要的是在发生了意外的事故时，立即检测到该事故从而确保安全性并防止再次受到损害。

作为解决上述课题的进给装置，本发明的发明者已经提出了如下所述的发明。该发明由下述的专利文献4可知，该进给装置具备：可以自由正反旋转的正卷器；可以自由正反旋转的反卷器；经由正卷器卷取或者退绕的正卷用线状体；经由反卷器卷取或者退绕的反卷用线状体；和在受到前进方向和返回方向的力时由导向机构的引导前进或倒退的往复动作体。另外，该进给装置的特征在于，保持为由正卷器可以自由卷取退绕的正卷用线状体和保持为由反卷器可以自由卷取退绕的反卷用线状体与往复动作体连结，卷取旋转时的正卷器和退绕旋转时的反卷器彼此同步并且调谐地向分别的卷取方向和退绕方向旋转，并且退绕旋转时的正卷器和卷取旋转时的反卷器彼此同步并且调谐地向分别的退绕方向和卷取方向旋转，正卷器对正卷用线状体的卷取量和反卷器对反卷用线状体的退绕量相互相等，并且正卷器对正卷用线状体的退绕量和反卷器对反卷用线状体的卷取量相互相等。除此以外，摩擦发生部位被防尘罩覆盖。根据该进给装置，通过其特有的构成和作用效果，能够满足定位精度、远距离搬送、远程搬送、控制性、高精密进给、高速进给、低价格、简洁构成、节省空间、轻质化、发尘对策以及针对事故发生的安全对策等。