[发明专利]周期结构的光学检测方法和系统

权利要求书

1.一种通过光学图像记录器检测周期结构的方法，所述光学图像记录器具有像素结构并且其记录的图像与所述周期结构的无瑕疵基准图像比较，其特征在于在所述基准图像中，在至少一个位置(X，Y)上，确定所述周期结构相对于所述光学图像记录器的像素结构的相位角，所述记录的图像被分为检测区域，并且，对于每个检测区域，确定所述周期结构相对于所述光学图像记录器的像素结构的相位角，以及对于所述检测区域与所述基准图像的比较，选择基准图像区域，所述基准图像区域的相位角对应于所述检测区域，

其中，对于选择所述基准图像区域，选择所述基准图像的位置(X，Y)，所述位置(X，Y)的相位角与所述检测区域的相位角之间的相位差最小。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于在每个在所述基准图像中确定相位角的位置(X，Y)，保存基准图像区域和相位角。

3.根据权利要求1或2的方法，其特征在于在所述周期结构的每个周期(P)确定周期结构相对于像素结构的相位角。

4.根据权利要求1或2的方法，其特征在于，对于与所述检测区域的比较，使用与所述检测区域空间相邻的基准图像区域。

5.根据权利要求1或2的方法，其特征在于所述基准图像区域为所述记录的图像的部分，并且与所述检测区域不同。

6.根据权利要求1或2的方法，其特征在于通过将基准图像区域与其它基准图像区域比较而检测基准图像区域以不包含瑕疵。

7.根据权利要求1或2的方法，其特征在于被检测为无瑕疵的检测区域被用作基准图像区域。

8.根据权利要求1或2的方法，其特征在于从多个基准图像区域计算基准图像。

9.根据权利要求1或2的方法，其特征在于通过减去或者分割相同尺寸的区域比较检测区域和基准图像区域。

10.一种检测周期结构的系统，包括：光学图像记录器，其具有用于记录周期结构的图像的像素结构；和具有存储器的图像处理装置，其特征在于设置所述图像处理装置，使得在基准图像中，在至少一个位置(X，Y)上，确定所述周期结构相对于所述光学图像记录器的像素结构的相位角，记录的图像被分为检测区域，并且对于每个所述检测区域，确定所述周期结构相对于光学图像记录器的像素结构的相位角，以及对于所述检测区域与所述基准图像的比较，选择基准图像区域，所述基准图像区域的相位角对应于所述检测区域，

其中，对于选择所述基准图像区域，选择所述基准图像的位置(X，Y)，所述位置(X，Y)的相位角与所述检测区域的相位角之间的相位差最小。

11.根据权利要求10的系统，其特征在于所述图像处理装置包括用于计算的现场可编程门阵列。

12.根据权利要求11的系统，其特征在于具有相关相位角的基准图像和/或基准图像区域被存储在所述现场可编程门阵列中。