[发明专利]动压轴承装置用轴部件

权利要求书

1.一种动压轴承装置用轴部件，其通过滚轧形成有用于在轴承间隙产 生流体的动压作用的凹部，其特征在于，

在所述凹部的表层部形成由通过所述滚轧而生成的加工硬化层构成 的第一加工硬化层，且在所述凹部的周围区域的表层部形成由通过滚筒抛 光而生成的加工硬化层构成的第二加工硬化层，

所述第二加工硬化层的硬度比在所述凹部的表层部形成的所述第一 加工硬化层的硬度高出50Hv～200Hv。

2.如权利要求1所述的动压轴承装置用轴部件，所述滚筒抛光用与所 述凹部的底面不接触的尺寸的媒介体进行。

3.一种动压轴承装置用轴部件，其通过滚轧形成有用于在轴承间隙产 生流体的动压作用的凹部，其特征在于，

所述凹部及其周围区域的表层部由所述滚轧后经氮化处理形成的氮 化层形成，通过滚筒抛光而生成的加工硬化层重复形成在所述凹部的周围 区域中氮化层的最表层部分，

并且氮化层的厚度相对于形成有所述凹部的区域的轴径之比设为 0.05以下。

4.如权利要求3所述的动压轴承装置用轴部件，所述表层部的表面的 至少一部分区域具有滚筒抛光形成的加工面。

5.如权利要求3所述的动压轴承装置用轴部件，所述表层部的下层区 域的硬度在400Hv以下。

6.一种动压轴承装置，其具有权利要求1～5的任一项所述的动压轴 承装置用轴部件。