[发明专利]用于泵的误差容积系统和方法

权利要求书

1.一种补偿分配泵的分配容积误差的方法，包括：

根据分配配方来确定分配容积量；

根据分配配方来确定流体特性值；

根据流体特性值以及误差容积和流体特性之间的相关性确定误差 容积量，其中所述误差容积量用于引起包括管的分配系统中的柔量； 以及

控制分配马达，以使得分配泵中的活塞移动到一位置，该位置用 于引起根据配方和误差容积量确定的分配容积量，以便从喷嘴分配流 体的所述分配容积量。

2.根据权利要求1所述的方法，其中控制分配马达还包括控制该 分配马达，以在由配方规定的时间内将活塞移动到所述位置，以分配 所述分配容积量。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括：

接收用户规定的误差容积，并且其中所述位置还用于引起所述用 户规定的误差容积，并且其中控制分配马达还包括控制所述分配马达 以在所述配方规定的时间内将所述活塞移动到所述位置，以分配所述 分配容积量。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在测试分配系统中推导误差容积和流体特性之间的相关性。

5.根据权利要求4所述的方法，其中推导相关性还包括：

用具有不同流体特性值的流体以相应的预期分配容积量来执行一 系列测试分配；

相对于预期分配容积量来分析测试分配的一系列实际分配容积 量，以确定流体特性和误差容积之间的关系。

6.根据权利要求4所述的方法，其中推导相关性还包括：

a)用测试流体以相应的预期分配容积量来执行一系列测试分配；

b)确定实际分配容积量的平均值；

c)对于一系列的额外预期分配容积量中的每个重复步骤a-b；

d)对于一系列的额外测试流体中的每种重复步骤a-c，其中每种 测试流体都具有不同的流体特性值；

e)根据平均实际分配容积量和对应的预期分配容积量，确定误差 容积和流体特性之间的关系。

7.根据权利要求4所述的方法，其中测试分配系统被构造为近似 于半导体制造晶片涂层系统。

8.根据权利要求4所述的方法，其中测试分配系统包括：

第一长度的管，其连接在多级泵的出口和出口阀之间；和

第二长度的管，其连接在出口阀和喷嘴之间。

9.根据权利要求4所述的方法，其中相关性是使用测试泵来推导 的，并且该相关性被扩散到一系列的泵以作随后的用途。

10.根据权利要求1所述的方法，其中流体特性是粘度。

11.一种多级泵，包括：

限定了分配室的泵体；

设置在分配室中的隔膜；

在分配室内往复运动以便移动隔膜的活塞，其中隔膜是滚动隔膜；

连接至活塞以使得活塞往复运动的分配马达；

连接至分配马达的控制器，该控制器包括用于储存流体特性和误 差容积之间的相关性的存储器，所述误差容积用于引起包括管的分配 系统中的柔量，该控制器是可操作的，以便：

根据分配配方来确定分配容积量；

根据分配配方来确定流体特性值；

访问存储器，以便根据流体特性值和所述相关性来确定误差 容积量；以及

控制分配马达，以便将活塞移动到一位置，该位置通过控制 器与排出至少误差容积量和分配容积量相关。

12.根据权利要求11所述的多级泵，其中控制器也是可操作的， 用于控制分配马达以在由配方指定的时期内将活塞移动到所述位置， 以便分配所述分配容积量。

13.根据权利要求11所述的多级泵，其中控制器也是可操作的， 用于控制分配马达，以便将活塞移动到另一位置，该位置通过控制器 与排出至少误差容积量、分配容积量以及用户规定的额外误差容积量 相关。