[发明专利]流体驱动器和使用该流体驱动器的发热装置以及分析装置

权利要求书

1.一种流体驱动器，具有：

压电体，其在主面形成了具有多个电极指的梳状电极；

流体通路，其使上述压电体的主面位于内壁的一部分上，并能够使流 体在内部移动；和

弹性表面波发生部，其位于上述流体通路内，并利用从上述压电体的 上述梳状电极产生且在上述主面上传播的弹性表面波来驱动上述流体通 路内的上述流体，

上述弹性表面波发生部，通过对位于弹性表面波的传播的一方侧的上 述流体通路内的上述流体，比对位于另一侧的上述流体通路内的上述流体 施加更强的驱动力，使上述流体向一方向移动。

2.根据权利要求1所述的流体驱动器，其中，

当把沿着从上述弹性表面波发生部产生的弹性表面波的两个传播方 向延伸的直线分别与上述流体通路的壁面或上述流体通路的出入口相交 的2点设为C、D时，

上述弹性表面波发生部被配置在从上述C、D的中心位置沿着弹性表 面波的任意传播方向错开后的位置。

3.根据权利要求2所述的流体驱动器，其中，从上述弹性表面波发 生部的一端A到上述流体通路的壁面上的上述C的距离d₁、和从上述弹 性表面波发生部的另一端B到上述流体通路的壁面上的上述D的距离d₂， 成为一方大而另一方小的关系。

4.根据权利要求3所述的流体驱动器，其中，上述小的一方的距离， 在20mm以下。

5.根据权利要求2所述的流体驱动器，其中，接近上述弹性表面波 发生部的一方的上述流体通路的壁面是相对上述弹性表面波的传播方向 大致正交的平面。

6.根据权利要求1所述的流体驱动器，其中，上述弹性表面波发生 部产生具有向上述一方向的指向性的弹性表面波。

7.根据权利要求6所述的流体驱动器，其中，上述弹性表面波发生 部具有悬浮电极，该悬浮电极位于上述梳状电极的相邻电极指之间，并且 按照与这些电极指平行的方式被配置在从这些电极指之间的中央向任意 电极指的方向偏移后的位置。

8.根据权利要求6所述的流体驱动器，其中，上述弹性表面波发生 部具有反射器电极，该反射器电极被配置得与上述梳状电极的一侧相邻， 并且把上述梳状电极所产生且传播来的弹性表面波向相反方向反射。

9.根据权利要求6所述的流体驱动器，其中，上述弹性表面波发生 部具有按照使分别为同一间距的电极指啮合的方式配置的至少3种梳状 电极，通过向上述至少3种梳状电极施加相位顺次变化后的交流电压，产 生具有向上述一方向的指向性的弹性表面波。

10.根据权利要求6所述的流体驱动器，其中，上述弹性表面波发生 部具有：按照使分别为同一间距的电极指啮合的方式配置的2种梳状电 极、和被配置在上述梳状电极的相邻的电极指之间的接地电极，

上述相邻的电极指以比1个间距的一半更小的间隔或更大的间隔配 置，

通过向各个梳状电极施加具有与上述相邻的电极指的间隔对应的相 位差的2个交流电压，产生具有向上述一方向的指向性的弹性表面波。

11.根据权利要求1所述的流体驱动器，其中，还具有构成上述流体 通路的内壁的其他一部分的基体，

上述压电体被嵌入上述基体的一部分中。

12.根据权利要求1所述的流体驱动器，其中，与形成上述梳状电极 的电极指的一端连接的共用电极，被配置在上述流体通路的外侧。

13.根据权利要求1所述的流体驱动器，其中，上述弹性表面波发生 部沿着上述流体通路设置有2个以上，任意弹性表面波发生部可被选择性 驱动。

14.根据权利要求2所述的流体驱动器，其中，上述弹性表面波发生 部设置有2个，

上述2个弹性表面波发生部被配置在从由上述C、D夹住的流体通路 的中心位置分别沿弹性表面波的两个传播方向偏移后的位置，

任意弹性表面波发生部可被选择性驱动。