[发明专利]循序波前传感器

权利要求书

1.一种循序波前传感器，其中包含：

波前扫描装置，其适用横向地循序地平移入射波前并将该入射波前的不同部分循序地投射至聚焦组件上，该波前扫描装置包括波前扫描仪，其用以依横向方向而循序地平移该入射波前；该波前扫描装置还包括孔径，可让一部分的经平移波前能够入射在该聚焦组件上，该聚焦组件被设置以将由该孔径所选择的该平移入射波前的一部分聚焦到位置感测装置上；

其中该位置感测装置用以表示循序影像点在焦点平面上的位置，而该平移入射波前的该部分是由该聚焦组件所聚焦到该位置感测装置上。

2.如权利要求1所述的循序波前传感器，其中该波前扫描仪包含：

电子马达，具有一轴(shaft)；以及

倾斜反射镜，位于该轴上。

3.如权利要求2所述的循序波前传感器，其中：

该马达是步进马达，并且该倾斜反射镜是按一固定角度所架置在该轴的末端上，因此当旋转该轴时，可选择绕于该入射波前的轮状环的一定数量子波前。

4.如权利要求1所述的循序波前传感器，其中该波前扫描仪包含：

电子马达，具有一轴；以及

非对称多面鼓型反射镜，是架置于该轴上。

5.如权利要求1所述的循序波前传感器，其中该位置感测装置是一具有四个光敏区域的四分(quad)侦测器。

6.如权利要求1所述的循序波前传感器，其中该波前扫描仪包含：

MEMS式扫描仪。

7.如权利要求1所述的循序波前传感器，其中该波前扫描仪包含：

透光性光学光束扫描仪。

8.如权利要求1所述的循序波前传感器，其中：

该孔径为可变孔径，其用于控制该所选入射波前的这些部分的尺寸。

9.一种用于侦测入射波前的偏差的方法，该方法包含以下步骤：

由波前扫描装置横向地循序地平移入射波前；

用孔径来截取并选择平移入射波前的一部份；

将由该孔径所选择的该平移入射波前的该部分，聚焦到位置感测装置上；以及

决定距该位置感测装置上的一参考点到在该位置感测装置上所聚焦的该入射波前的该部分间的二维偏离。

10.如权利要求9所述的方法，进一步包含以下步骤：

显示这些二维偏离，以在显示装置上构成样式(pattern)；以及

分析所显示的二维偏离，以特征化描述该入射波前的偏差。

11.如权利要求10所述的方法，其中该位置感测装置是具有一参考点的四分侦测器，并且该决定距该位置感测装置上的一参考点到在该位置感测装置上所聚焦的该入射波前的该部分间的二维偏离的步骤进一步包含：

计算出在该四分侦测器上所聚焦的该入射波前的该部分的二维偏离坐标。

12.如权利要求11所述的方法，其中该选择平移入射波前的一部份的步骤进一步包含：

循序地选择绕着该入射波前的轮状环所布置的平移入射波前的一部份，且其中该分析所显示的二维偏离的步骤进一步包含：

决定该二维偏离的散射(scattering)情况。

13.如权利要求11所述的方法，其中该选择平移入射波前的一部份的步骤进一步包含：

循序地选择绕着该入射波前的轮状环所布置的平移入射波前的一部份，且其中该分析所显示的二维偏离的步骤进一步包含：

侦测在聚焦部分的位置处的符号变化，以表示输入波形在收敛波形与发散波形之间的变化。

14.如权利要求11所述的方法，其中该位置感测装置是具有参考点的四分侦测器，且其中显示这些偏离的步骤进一步包含：

基于其所计算的坐标而显示各个聚焦部分。

15.如权利要求9所述的方法，进一步包含：

短脉冲化光源，并在不同时刻处开启该光源。

16.如权利要求9所述的方法，进一步包含：

以实时方式在显示装置上显示这些二维偏离。