[发明专利]用于泵的操作的系统和方法

权利要求书

1.一种多级泵，该多级泵包括：

进给泵，该进给泵包括：

进给腔；

在所述进给腔中的进给隔膜；

进给活塞，该进给活塞与所述进给隔膜相接触，以使所述进 给隔膜移位；

进给丝杠，该进给丝杠与所述进给活塞联接；

进给电机，该进给电机与所述进给丝杠联接，以将旋转传递 到所述进给丝杠，从而引起所述进给活塞移动；

过滤器，其中，该过滤器与所述进给腔流体连通；

隔离阀，该隔离阀位于所述进给泵和所述过滤器之间，以允许或 限制流体从所述进给腔流动到所述过滤器；

分配泵，该分配泵与所述过滤器流体连通，该分配泵包括：

分配腔；

在所述分配腔中的分配隔膜；

分配活塞，该分配活塞与所述分配隔膜相接触，以使所述分 配隔膜移位；

分配丝杠，该分配丝杠与所述分配活塞联接，以使所述分配 腔中的所述分配活塞移位；

分配电机，该分配电机与所述分配丝杠联接，以将旋转传递 到所述分配丝杠，从而引起所述分配活塞移动；

阻隔阀，该阻隔阀位于所述过滤器和所述分配泵之间，以允许或 限制流体从所述过滤器流动到所述分配腔；

压力传感器，该压力传感器被暴露于所述分配腔，以测量所述分 配腔中的流体压力；以及

控制器，该控制器与所述压力传感器、所述进给电机和所述分配 电机连接，在所述隔离阀和所述阻隔阀都打开的一过滤阶段期间，该 控制器可操作，以便：

接收来自所述压力传感器的压力测量值；

在压力测量值显示所述分配腔中的流体压力已经初始达到设 定值时，引导所述分配电机以大致恒定的速率操作，以使所述分配活 塞退回；以及

对于随后的压力测量值，如果所述随后的压力测量值显示所 述分配腔中的流体压力高于所述设定值，则引导所述进给电机以降低 的速度操作，如果所述随后的压力测量值低于设定值，则引导所述进 给电机以增大的速度操作；

其中，所述多级泵适用于半导体生产工艺流体。

2.根据权利要求1的多级泵，其中，所述控制器进一步可操作， 以便在所述分配电机到达一原始位置时，引导所述进给电机和所述分 配电机停止。

3.根据权利要求1的多级泵，其中，所述控制器还可操作，以便：

形成与一参数相对应的第一操作分布图；并且

将与所述第一操作分布图相关联的一个或更多个值中的每一个和 与一基线分布图相关联的相应值相比较，以确定所述一个或更多个值 中的每一个是否在所述相应值的容差范围内。

4.根据权利要求3的多级泵，其中，形成所述第一操作分布图包 括：在所述多级泵的操作期间记录一组点的每一个点处的所述参数的 值。

5.根据权利要求4的多级泵，其中，所述一组点的间隔在大约1 毫秒和10毫秒之间。

6.根据权利要求3的多级泵，其中，所述控制器进一步可操作， 以便：

记录第二操作分布图；并且

将所述第二操作分布图存储为所述基线分布图。

7.根据权利要求3的多级泵，其中，所述参数是所述进给电机或 分配电机的速度。

8.根据权利要求3的多级泵，其中，所述参数是所述流体的压力。

9.根据权利要求3的多级泵，其中，所述一个或更多个值包括：

与分配阶段期间的所述第一操作分布图的平均值相对应的第一 值；

与经过所述分配阶段大约10％的第一点相对应的第二值；

与经过所述分配阶段大约50％的第二点相对应的第三值；以及

与经过所述分配阶段大约90％的第三点相对应的第四值。

10.根据权利要求9的多级泵，其中所述容差在大约0.1PSI和大 约0.5PSI之间。

11.根据权利要求9的多级泵，其中所述容差是所述相应值的百 分比。