[发明专利]用于检查玻璃片的斜传输照射检查系统和方法无效
申请号: | 200680051463.4 | 申请日: | 2006-10-24 |
公开(公告)号: | CN101360985A | 公开(公告)日: | 2009-02-04 |
发明(设计)人: | R·D·杜瑞高 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/00 | 分类号: | G01N21/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 李玲 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 检查 玻璃片 传输 照射 系统 方法 | ||
1.一种检查玻璃片的方法,所述方法包括以下步骤:
使用斜照射系统照射玻璃片至少一部分,其中所述使用步骤还包括:
使用主光源发射第一光束,所述第一光束穿过所述玻璃片至少一部分;
使用辅光源发射第二光束,所述第二光束穿过所述玻璃片至少一部分;
使用相机生成所述玻璃片所照射部分的至少一部分的图像;以及
分析所述图像,以检测、表征和分类所述玻璃片中的缺陷,
其中,所述相机具有光轴,并且所述主光源比所述辅光源更靠近所述光轴,
其中,所述主光源导致所述缺陷的图像对比度增强的大部分,以及
其中,所述辅光源在所述相机的视场上提供更均衡的照射,并导致所述缺陷边缘的图像增强。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述斜照射系统是双源的离轴传输光系统。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述缺陷是:
内含物;
表面杂质;
划伤;
污点;
气泡;
条痕;或者
表面突变。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述图像以三维方式指示所述缺陷。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括分析所述图像以间接测量在所述缺陷嵌入所述玻璃片内的情况下导致的表面突变的高度的步骤,其中所述分析步骤还包括:
确定所述图像中所述缺陷第一侧处的第一光强;
确定所述图像中所述缺陷第二侧处的第二光强;以及
比较所述第一光强和所述第二光强以确定与所述表面突变高度直接相关的强度差。
6.一种检查系统,包括:
斜照射系统,照射玻璃片至少一部分,所述斜照射系统还包括主光源和辅光源,其中所述主光源发射穿过所述玻璃片至少一部分的第一光束,所述辅光源发射穿过所述玻璃片至少一部分的第二光束;以及
相机,生成所述玻璃片的所照射部分中至少一部分的图像,其中所述图像使人们能够检测、表征和分类所述玻璃片中的缺陷,
其中,所述相机具有光轴,并且所述主光源比所述辅光源更靠近所述光轴,
其中,所述主光源导致所述缺陷的图像对比度增强的大部分,以及
其中,所述辅光源在所述相机的视场上提供更均衡的照射,并导致所述缺陷边缘的图像增强。
7.如权利要求6所述的检查系统,其特征在于,所述斜照射系统是双源的离轴传输光系统。
8.如权利要求6所述的检查系统,其特征在于,所述缺陷是:
内含物;
表面杂质;
划伤;
污点;
气泡;
条痕;或者
表面突变。
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