[发明专利]滤色片的制造方法、滤色片及具有该滤色片的显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种显示装置用滤色片的制造方法、利用该制造方法得到的滤色片以及具有该滤色片的显示装置。 

背景技术

显示装置用滤色片是在玻璃等基板上分别将红色、绿色、蓝色的点状图像配置成矩阵状，并用黑底等深色隔离壁划分其边界的结构。作为这样的滤色片的制造方法，以往已知有如下方法：使用玻璃等基板作为支撑体，利用1)染色法，2)印刷法，3)通过反复进行已着色的感光性树脂液的涂敷和曝光以及显影的着色感光性树脂液法(着色抗蚀剂法)(例如参照特开昭63-298304号公报、特开昭63-309916号公报以及特开平1-152449号公报。)，4)依次将在临时支撑体上形成的图像转印到最终或临时的支撑体上的方法(例如参照特开昭61-99103号公报、特开昭61-233704号公报及特开昭61-279802号公报。)，5)通过在临时支撑体上涂敷预先着色的感光性树脂液来形成着色层，依次直接在基板上转印该感光性着色层，曝光、显影，反复进行颜色数的次数的方法等，从而形成多色图像的方法(转印方式)(例如参照特开昭61-99102号公报。)。另外，还已知使用喷墨法的方法(例如参照特开平8-227012号公报。)。 

这些方法中，尽管着色抗蚀剂法可以位置精度较高地制作滤色片，但在感光层树脂液的涂敷中损失较多，经济上不利。另一方面，尽管喷墨法的树脂液的损失较少，经济上有利，但存在像素的位置精度差的问题。为了克服这些问题，还提出了通过利用着色抗蚀剂法形成黑底(深色隔离壁)，用喷墨法制作RGB像素的滤色片制造方法，但如果观察制作的黑底的截面形状，则上端或其边缘变圆，最后喷出液滴的各色墨液容易跨越黑底，所以有可能发生渗出、溢出、与邻接像素的混色及漏白等。 

为了防止这些，公开有包括在显影后向深色隔离壁的图案照射光使其 光固化的工序和向已光固化的深色隔离壁图案加热处理的工序的滤色片的制造方法(例如参照特开2002-156520号公报。)，但在该方法中，隔壁的边缘部分的形状容易变圆，如果边缘部分圆(没有棱角)，则又残留容易跨越深色隔离壁的问题。 

另外，已知有利用等离子处理对深色隔离壁进行防水处理的方法(例如参照特开2001-343518号公报。)。但是，如果只向深色隔离壁实施防水处理，也难以充分地消除与邻接像素的混色及漏白等。 

专利文献1：特开昭63-298304号公报 

专利文献2：特开昭63-309916号公报 

专利文献3：特开平1-152449号公报 

专利文献4：特开昭61-99103号公报 

专利文献5：特开昭61-233704号公报 

专利文献6：特开昭61-279802号公报 

专利文献7：特开昭61-99102号公报 

专利文献8：特开平8-227012号公报 

专利文献9：特开2002-156520号公报 

专利文献10：特开2001-343518号公报 

发明内容

因而，本发明的目的在于提供一种可以位置精度良好地形成混色等少的像素而且低成本且高效率地制造滤色片的滤色片的制造方法、利用该方法得到的滤色片以及具备该滤色片的显示装置。 

鉴于所述实际情况，本发明人为了解决所述课题而进行了潜心研究，结果发现如果利用下述手法形成深色隔离壁，则在之后利用喷墨法等形成各像素时，可以防止各色墨液的渗出、溢出、与邻接像素的混色及漏白等成为缺陷的不良情形，可以得到良好的滤色片，以至完成本发明。 

即，本发明提供以下制造方法等。 

<1>一种滤色片的制造方法，其是在基板上具有呈彼此不同颜色的2个以上的像素组，构成所述像素组的各像素彼此被深色隔离壁隔离的滤色片的制造方法，其特征在于， 

形成所述深色隔离壁的工序包括下述(1)～(3)工序。 

(1)在贫氧气氛下对由深色组合物构成的层进行图案曝光的工序(图案曝光工序) 

(2)图案曝光之后，进行显影，形成深色隔离壁图案的工序(显影工序) 

(3)向该深色隔离壁图案照射2500mJ/cm²以上的曝光量的光，使其光固化的工序(后曝光工序)。 

<2>根据所述<1>记载的滤色片的制造方法，其特征在于， 

所述贫氧气氛下选自惰性气体气氛下、减压下及能够阻断氧的保护层下中的至少一种。