[发明专利]用于低于200nm的平版印刷的基于金刚烷的分子玻璃光致抗蚀剂

权利要求书

1.一种光致抗蚀剂材料，其含有：

包括金刚烷基、并且包括酯基或缩醛基中的至少一种的玻璃。

2.如权利要求1所述的光致抗蚀剂材料，其中所述玻璃还包含至 少一个胆酸基。

3.如权利要求1所述的光致抗蚀剂材料，其中所述玻璃包含多个 金刚烷基。

4.如权利要求1所述的光致抗蚀剂材料，其中所述玻璃包含多个 胆酸基。

5.如权利要求1所述的光致抗蚀剂材料，其中所述玻璃包含多个 金刚烷基和多个胆酸基。

6.如权利要求1所述的光致抗蚀剂材料，其中所述玻璃选自：

三(2-金刚烷氧基甲基胆酸酯)-3-基金刚烷-1，3，5-三甲酸酯；

三{[(2-甲基-2-金刚烷基)氧基]羰甲基胆酸酯}-3-基金刚烷-1，3，5-三 甲酸酯；

1，2，3，4，6-五-O-(2-金刚烷氧基甲基)-α-D-葡萄糖；

1，2，3，4，6-五-O-{[(2-甲基-2-金刚烷基)氧基]羰甲基}-α-D-葡萄糖；

金刚烷-1，3，5-三基三(氧基亚甲基)三胆酸酯；

金刚烷-1，3，5-三基三(氧基亚甲基)三-3-(2-金刚烷氧基甲氧基)胆酸 酯；

三(2-甲基-2-金刚烷基)金刚烷-1，3，5-三甲酸酯；

1，3，5-三[(2-金刚烷氧基甲基胆酸酯)-3-氧基甲氧基]金刚烷；

1，3，5-三{[1，2:3，4-二-O-(2，2-亚金刚烷基)-α-D-吡喃半乳糖]-6-氧基 甲氧基}金刚烷；

1，3，5-三(2-金刚烷氧基甲基)金刚烷；

及其混合物。

7.如权利要求1所述的光致抗蚀剂材料，其中所述玻璃由选自下 组的一种或多种前体合成：

1，3，5-金刚烷三甲酸；

1，3，5-金刚烷三甲酰三氯；

1，3，5-三(甲硫基甲氧基)金刚烷；

1，3，5-三(氯甲氧基)金刚烷；

(2-金刚烷氧基)甲基胆酸酯；

[(2-甲基-2-金刚烷基)氧基]羰甲基胆酸酯；和

1，2:3，4-二-O-(2，2-亚金刚烷基)-α-D-吡喃半乳糖。

8.如权利要求1所述的光致抗蚀剂材料，其中所述金刚烷基包含 三足结构的中心，且其中所述三足结构的三个支柱通过三个酯基或三 个缩醛基与中心的金刚烷基相连。

9.如权利要求8所述的光致抗蚀剂材料，其中所述酯基或缩醛基 与中心金刚烷基的连接在中心金刚烷基的1、3和5位上发生。

10.如权利要求1所述的光致抗蚀剂材料，其中α-葡萄糖基包含 五-支柱分枝结构的中心，且其中五个支柱通过四个缩醛基以及第五个 缩醛基和氧基与中心的α葡萄糖基相连。

11.如权利要求1所述的光致抗蚀剂材料，其中α-葡萄糖包含五- 支柱分枝结构，且其中五个支柱通过四个氧基羰甲基和第五个氧基羰 甲氧基与中心的α葡萄糖基相连。

12.如权利要求1所述的光致抗蚀剂材料，其中所述玻璃为具有 下式的中心金刚烷基的三足结构：

其中R选自：

及其组合物。

13.如权利要求1所述的光致抗蚀剂材料，其还包含在1、2、3、 4和6位上通过选自下组的五个部分连接的中心α-葡萄糖部分：2-金刚 烷氧基甲基、[(2-甲基-2-金刚烷基)氧基]羰甲基及其组合物。