[发明专利]用于测量薄片性质的光学扫描仪

权利要求书

1.一种用于测量行进的薄片材料的性质的光谱仪，所述光谱仪包括：

向所述行进的薄片材料发射辐射的源(120)；

用于分开所述发射的辐射和与所述行进的薄片材料相互作用之后的辐射的分束器(160)；

用于向所述行进的薄片材料引导所述发射的辐射的光学扫描仪(330)；以及

用于测量与所述行进的薄片材料相互作用之后的辐射的探测器(310)，

其中所述光学扫描仪(330)被构造成扫描所述辐射以抵消所述行进的薄片材料的运动以及容纳所述光谱仪的托架的运动这两者。

2.根据权利要求1的光谱仪，其中所述辐射是红外的。

3.根据权利要求1的光谱仪，其中所述光学扫描仪是基于检流计的光学扫描仪或旋转反射镜。

4.根据权利要求1的光谱仪，其中所述探测器是干涉仪。

5.根据权利要求1的光谱仪，其中所述分束器是半银镜或二色分束器。

6.根据权利要求3的光谱仪，所述基于检流计的光学扫描仪进一步包括：

用于转移第一维中的所述辐射的第一振荡反射镜(510)；以及

用于转移与所述第一维正交的另一维中的所述辐射的第二振荡反射镜(520)。

7.根据权利要求6的光谱仪，其中所述第一振荡反射镜被响应指示所述行进的薄片材料的速度的信号的检流计驱动；所述第二振荡反射镜被响应指示容纳所述光谱仪的托架的速度的信号的检流计驱动。

8.根据权利要求3的光谱仪，所述旋转反射镜进一步包括：

彼此平行设置的多个反射镜(610，620)，所述多个反射镜设置在旋转盘(640)上。

9.根据权利要求8的光谱仪，其中所述旋转盘被指示所述行进的薄片材料的速度的信号驱动，或者所述旋转盘被指示容纳所述光谱仪的托架的速度的信号驱动。