[发明专利]三角测量位置测量的光学平移

权利要求书

1、一种用于测量距离目标的距离的三角测量传感装置，包括:

邻近目标布置的传感器头(1)，其中该传感器头(1)包括:(i)被导引至目标的表面的入射辐射源(4a)，以及(ii)用于检测来自目标的表面上的探询点的反射辐射的装置(4b)；

用于光学平移入射辐射以使探询点移动至期望的位置的装置(81，82，83)；以及

用于从处于期望位置处的探询点光学平移反射辐射以便由用于检测反射辐射的装置(4b)检测该反射辐射的装置(91，92，93)。

2、权利要求1的三角测量传感装置，其中用于光学平移入射辐射的装置(81，82，83)包括第一衬底，并且用于光学平移反射辐射的装置(91，92，93)包括第二衬底。

3、权利要求2的三角测量传感装置，其中第一衬底基本上是平面的，并且第二衬底基本上是平面的，其中第一衬底与第二衬底不共面。

4、权利要求2的三角测量传感装置，其中第一衬底包括第一区域，第二区域和第三区域，并且第二衬底包括对应的第一区域(81)，第二区域(82)和第三区域(83)，其特征在于:(i)当通过第一衬底的第一区域(81)光学平移入射辐射时，通过第二衬底的第一区域(91)光学平移反射辐射，(ii)当通过第一衬底的第二区域(82)光学平移入射辐射时，通过第二衬底的第二区域(92)光学平移反射辐射，以及(iii)当通过第一衬底的第三区域(83)光学平移入射辐射时，通过第二衬底的第三区域(93)光学平移反射辐射。

5、一种系统，用于测量具有第一表面和第二表面的目标的厚度，其包括:

邻近目标的第一表面布置的第一传感器头(1)，其中该第一传感器头包括:(i)被导引至目标的第一表面的第一入射辐射的第一源(4a)，以及(ii)用于检测来自目标的第一表面上的第一探询点的第一反射辐射的第一装置(4b)；

用于光学平移第一入射辐射以使第一探询点移动至目标的第一表面上的第一期望位置的装置(81，82，83)；

用于从处于第一期望位置处的第一探询点光学平移第一反射辐射以便由用于检测第一反射辐射的第一装置(4a)检测第一反射辐射的装置(91，92，93)；

邻近目标的第二表面布置的第二传感器头(2)，其中该第二传感器头包括:(i)被导引至目标的第二表面的第二入射辐射的第二源(5a)，以及(ii)用于检测来自目标的第二表面上的第二探询点的第二反射辐射的第二装置(5b)；

用于光学平移第二入射辐射以使第二探询点移动至目标的第二表面上的第二期望位置的装置(81，82，83)；

用于从处于第二期望位置处的第二探询点光学平移第二反射辐射以便由用于检测第二反射辐射的第二装置(5a)检测第二反射辐射的装置(91，92，93)；以及

用于测量从第一传感器头(1)至第二传感器头(2)的距离的装置(6，7)。

6、权利要求5的系统，其中目标的第一表面上的第一探询点基本上直接在目标的第二表面上的第二探询点之上或之下。

7、权利要求5的系统，其中用于光学平移第一入射辐射的装置包括第一衬底，并且用于光学平移第一反射辐射的装置包括第二衬底，并且其中用于光学平移第二入射辐射的装置包括第三衬底，并且用于光学平移第二反射辐射的装置包括第四衬底。

8、权利要求7的系统，其中第一衬底基本上是平面的，并且第二衬底基本上是平面的，其中第一衬底与第二衬底不共面，并且其中第三衬底基本上是平面的，并且第四衬底基本上是平面的，其中第三衬底与第四衬底不共面。

9、一种用于确定目标的位置的方法，包括下面的步骤:

(a)提供用于测量距离的三角测量传感装置，该三角测量传感装置包括邻近目标布置的传感器头(1)，该传感器头(1)包括:(i)被导引至目标的表面的入射辐射源(4a)，以及(ii)用于检测来自目标的表面上的探询点的反射辐射的装置(4b)；

(b)光学平移入射辐射，以使探询点移动至目标表面上的期望位置；

(c)从探询点光学平移反射辐射，以便由用于检测反射辐射的装置检测该反射辐射；以及

(d)确定探询点的位置。

10、权利要求9的方法，其中步骤d包括分析反射辐射，以便确定从传感器头至目标的距离。