[发明专利]有源矩阵基板、显示装置、电视接收机、有源矩阵基板的制造方法、栅极绝缘膜形成方法

权利要求书

1.一种有源矩阵基板，其具备多个晶体管，其特征在于：

覆盖各晶体管的栅极电极的栅极绝缘膜在与各栅极电极重叠的部分具有膜厚变小的薄膜部，

该薄膜部利用与其重叠的栅极电极作为掩模而形成。

2.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：

各晶体管具有源极电极和配置在其两侧的第一和第二漏极电极部，

所述薄膜部具有相对置的两个边缘，所述第一漏极电极部与其一个边缘重叠，所述第二漏极电极部与另一个边缘重叠。

3.一种有源矩阵基板，其具备多个晶体管，其特征在于：

覆盖各晶体管的栅极电极的栅极绝缘膜在与各栅极电极重叠的部分具有膜厚变小的薄膜部，

各晶体管具有源极电极和配置在其两侧的第一和第二漏极电极部，

所述薄膜部具有相对置的两个边缘，并且所述第一漏极电极部与其一个边缘重叠，所述第二电极部与另一个边缘重叠。

4.如权利要求2或3所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述第一和第二漏极电极部具有相互为轴对称的形状。

5.如权利要求2或3所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述源极电极在所述第一和第二漏极电极部的对称轴上延伸。

6.如权利要求2或3所述的有源矩阵基板，其特征在于：

各栅极电极具有相对置的两个边缘，所述薄膜部的各边缘位于该栅极电极的各边缘上。

7.如权利要求2或3所述的有源矩阵基板，其特征在于：

各栅极电极具有相对置的两个边缘，所述薄膜部的各边缘位于与该栅极电极的各边缘相隔大致等距离的内侧且沿着该栅极电极的各边缘的线上。

8.如权利要求2或3所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述源极电极由相对置的第一和第二源极电极部构成，

在该第一和第二源极电极部之间设置有第三漏极电极部。

9.如权利要求2或3所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述栅极绝缘膜由多个栅极绝缘层构成，

在所述薄膜部中，至少一个栅极绝缘层形成得薄。

10.如权利要求2或3所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述栅极绝缘膜由多个栅极绝缘层构成，在薄膜部具有1个以上的栅极绝缘层，在其他部分具有比其多的栅极绝缘层。

11.如权利要求10所述的有源矩阵基板，其特征在于：

在所述其他部分，最下层的栅极绝缘层为平坦化膜。

12.如权利要求11所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述平坦化膜由旋涂玻璃(SOG)材料构成。

13.如权利要求11所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述平坦化膜的与基板面相接的部分的厚度大于形成在基板面上的栅极电极。

14.如权利要求2或3所述的有源矩阵基板，其特征在于：

栅极绝缘膜的所述各边缘附近为正楔形。

15.如权利要求2或3所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述薄膜部为长方形，长边方向的两条边相当于薄膜部的所述两个边缘。

16.如权利要求2或3所述的有源矩阵基板，其特征在于：

第一和第二漏极电极部在薄膜部的所述边缘方向延伸。

17.如权利要求2或3所述的有源矩阵基板，其特征在于：

第一和第二漏极电极部分别具备在所述薄膜部的边缘方向延伸的延伸部、和从该延伸部向远离源极电极的方向延伸的连接部，

所述延伸部位于薄膜部上，并且连接部与薄膜部的边缘重叠，该连接部的所述边缘方向的宽度小于延伸部的所述边缘方向的宽度。

18.如权利要求6所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述栅极电极为长方形，长边方向的两条边相当于栅极电极的所述两个边缘。

19.如权利要求10所述的有源矩阵基板，其特征在于：

具备包含有机物的栅极绝缘层。