[发明专利]反射膜或半透反射膜用的薄膜及溅射靶材以及光记录介质

说明书

技术领域

本发明涉及可用作光记录介质、显示器等中所使用的反射膜或半透反射膜的薄膜，特别涉及即使长期使用反射率的下降也得到抑制的薄膜以及具备该薄膜作为反射膜或半透反射膜的光记录介质。 

背景技术

在CD-R/RW、DVD-R/RW/RAM、蓝光光盘等光记录介质和液晶显示器、有机发光显示器等显示装置中，至少形成有1层反射膜。例如，图1是作为光记录介质的例子表示近年来正在进行开发的HD-DVD(可擦写型单面2层)的结构的图。如该例子所示，光记录介质具有除了作为其功能的中心的记录层之外，还具备保护层、热扩散层以及反射膜的多层结构。 

以往的反射膜大多由银形成。这是因为银的反射率高，比同样具有高反射率的金便宜。此外，银由于通过适当地调整其膜厚可具有良好的透光性，所以可以用作半透反射膜，因此在今后所开发的光记录介质中会被广泛使用(参照图1)。 

另一方面，银缺乏耐蚀性，存在因腐蚀变成黑色而使反射率下降的问题。作为反射膜腐蚀的主要原因，根据所采用的介质、装置而不同，例如被光记录介质的记录层中所采用的有机染料材料腐蚀，由于长期使用而出现反射率的下降。此外，显示器装置的反射膜可能会因大气中的湿度等而发生反射膜的腐蚀。于是，为了解决银的耐蚀性的问题，开发了由在银中添加各种元素而得的银合金形成的薄膜。 

例如，专利文献1中揭示了在银中添加0.5～10原子％的钌和0.1～10原子％的铝的银合金，专利文献2中揭示了在银中添加有0.5～4.9原子％的钯的银合金等。此外，专利文献3、专利文献4中揭示了在Ag中添加有Ca、V、Nb的银合金等。

专利文献1：日本专利特开平11-134715号公报 

专利文献2：日本专利特开2000-109943号公报 

专利文献3：日本专利特开平6-243509号公报 

专利文献4：日本专利特开2003-6926号公报 

发明的揭示 

将以上的银合金作为构成材料的薄膜在耐蚀性的改善方面有一定的效果。然而，虽然腐蚀的问题应该得到了解决，但即使是采用银合金薄膜的光记录介质，也无法完全抑制反射膜的劣化引起的记录错误。此外，伴随今后对于记录速度和记录密度的进一步提高的要求，需要反射率维持特性比以往更好的材料。 

于是，本发明的目的在于提供用于构成光记录介质、显示器等的反射膜、半透反射膜的薄膜及其制造方法，该薄膜即使长期使用反射率也不会下降，能够很好地发挥其功能。 

为了解决所述课题，本发明人进行了认真研究，对银薄膜的反射特性的劣化机理进行了研究，认为其主要原因不仅在于单纯的腐蚀(发黑)，还在于加热时的银原子的迁移现象。该银原子的迁移现象是指刚成膜后的平坦的薄膜根据所附加的环境条件，构成薄膜的银原子为了达到能量上非常稳定的状态而迁移的现象。并且，这时的银原子的迁移不限于平面的迁移，大多为三维的行为，因而以接近于球体的多边形凝集。如果薄膜上形成所述的三维凝集体，则入射到薄膜的激光的反射光向其入射轴方向漫反射，被反射向多个方向。因此，将这样的薄膜作为反射膜的光记录介质中，向光记录装置的传感器轴方向的反射率下降，使记录介质发生错误。 

如上所述，银原子的迁移现象和凝集是与腐蚀不同的现象。在这方面，以往的银合金被认为对于银原子的迁移现象并非完全没有抑制效果。这是因为与银合金化的金属原子被认为也稍稍具有阻止银原子的迁移的作用。但是，以往的银合金特别以耐蚀性等的改善为目的，因此可以说不是所有的合金化都对银原子的迁移抑制有效。 

于是，本发明人研究了抑制薄膜中的银原子的迁移的方法，对具有该 效果的银合金进行了研究。并且，发现作为进一步的改善对策，使化合物相分散于银或银合金中的方法对于银原子的迁移抑制更有效，藉此可以制成反射率维持特性良好的薄膜，从而完成了本发明。 

即，本发明是在由银或银合金形成的基质中分散由铝、镁、锡、锌、铟、钛、锆、锰、硅的氮化物、氧化物、复合氧化物、氮氧化物、碳化物、硫化物、氯化物、硅化物(除硅以外)、氟化物、硼化物、氢化物、磷化物、硒化物、碲化物中的至少一种形成的化合物相而成的反射膜或半透反射膜用的薄膜。