[发明专利]振动的可偏转的微型机械元件及其运转方法

权利要求书

1.一种振动的可偏转的微型机械元件，其由至少一个弹簧元件保持并且借助于交流电压能够在两换向点之间偏转，其特征在于，所述弹簧元件具有非线性弹簧特征曲线，并且得到依赖于相应偏转而改变的机械共振频率。

2.如权利要求1所述的元件，其特征在于，所述偏转以平移的方式和/或旋转的方式进行。

3.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，所述偏转借助于静电的或者电容的力作用进行。

4.如前述权利要求中任一项所述的元件，其特征在于，至少在所述元件的偏转范围内，所述一个或多个弹簧元件的弹簧特征曲线的非线性偏差至少达到5％。

5.如前述权利要求中任一项所述的元件，其特征在于，所述弹簧元件的弹簧特征曲线是递减的和/或递增的。

6.如前述权利要求中任一项所述的元件，其特征在于，所述交流电压的频率是能调节的和能测定的。

7.如前述权利要求中任一项所述的元件，其特征在于，所述元件构成微反射镜、脉冲计数器或传感器元件。

8.如权利要求6所述的元件，其特征在于，所述元件是压力传感器、粘度传感器、质量传感器或者加速度传感器。

9.如前述权利要求中任一项所述的元件，其特征在于，所述元件的表面至少局部地设有具有粘附作用的涂层。

10.一种运转如权利要求1到9中任一项所述的元件的方法，其特征在于，在考虑到依赖于相应偏转而改变的机械共振频率的情况下，在维持共振的条件下进行所述元件的偏转。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，依赖于所述元件的偏转和/或加速度，测定用于偏转的交流电压的改变的频率。

12.如权利要求10所述的方法，其特征在于，通过测定频率来测定偏转的振幅的变化。

13.如权利要求10所述的方法，其特征在于，通过测定改变的频率来测定其中布置有所述元件的流体的压力和粘度。

14.如权利要求10所述的方法，其特征在于，通过测定改变的频率来测定所述元件的改变的质量。

15.如权利要求10所述的方法，其特征在于，通过测定改变的频率来测定作用在所述元件上的加速度。

16.如权利要求10到15中任一项所述的方法，其特征在于，通过具有递减弹簧特征曲线的弹簧元件使偏转运动的形状呈梯形，并且通过具有递增弹簧特征曲线的弹簧元件使偏转运动的形状呈三角形。