[发明专利]设置有干涉测量装置的工业机器

权利要求书

1.一种工业机器(200)，包括：

-移动结构元件(2)，用于在所述机器(200)的相应操作构造中采用不同位置；

-第一参考轴线(a1)与第二参考轴线(a2)之间的距离(d)的光电测量装置(11，12)，所述第二参考轴线与所述结构元件(2)相关联；

其特征在于，所述光电测量装置(11，12)包括彼此光耦合且各自与其中一个所述参考轴线相关联的激光干涉仪(20)和测量反射靶(12)，所述激光干涉仪包括：激光源，用于向所述靶(12)发射直接电磁辐射；以及来自所述靶的反射电磁辐射与从所述直接电磁辐射所获得的参考电磁辐射之间的干涉装置。

2.根据权利要求1所述的工业机器(200)，进一步包括控制单元(UC)，所述控制单元产生作为所述测量距离(d)函数的用于所述移动结构元件(2)的命令信号，并且所述机器(200)基于所述命令信号可以采用所述操作构造。

3.根据权利要求2所述的工业机器(200)，进一步包括用于加工和/或测量工件(4)的装置(50)；所述移动结构元件(2)允许所述加工和/或测量装置(50)与所述工件(4)之间的多个相互位置。

4.根据权利要求3所述的工业机器(200)，其中，所述工件(4)机械地连接至所述移动结构元件(2)，以使当所述工件被加工时被移动。

5.根据权利要求3所述的工业机器(200)，其中，所述加工和/或测量装置(50)机械地连接至所述移动结构元件(2)。

6.根据权利要求1所述的工业机器(200)，其中，所述测量靶(12)安装至所述移动结构元件(2)，而所述干涉仪(20)是的并且与所述第一参考轴线(a1)相关联。

7.根据权利要求1所述的工业机器(200)，其中，所述干涉仪(20)安装至所述移动结构元件(2)，而所述测量靶(12)是静止的并且与所述第一参考轴线(a1)相关联。

8.根据权利要求1所述的工业机器(200)，进一步包括用于所述移动结构元件(2)的支撑基座(1)，所述移动结构元件(2)根据所述工业机器(200)的移动轴线(X)可滑动地连接至所述基座(1)。

9.根据权利要求8所述的工业机器(200)，其中，所述激光干涉仪(20)固定至所述基座(1)。

10.根据权利要求1所述的工业机器(200)，其中，所述光电测量装置(11，12)进一步包括光电探测器(21)，所述光电探测器适于接收由所述激光干涉仪(20)提供的干涉光信号(SO)并适于将所述干涉光信号转换为相应的第一电信号(SE1)。

11.根据权利要求10所述的工业机器(200)，其中，所述光电测量装置(11，12)进一步包括处理单元(UP)，所述处理单元适于接收和处理所述第一电信号(SE1)以提供表示所述测量距离(d)的第二电信号(SE2)。

12.根据权利要求11所述的工业机器(200)，其中，所述控制单元(UC)适于接收所述第二电信号(SE2)以控制用于所述移动结构元件(2)的移动装置。

13.根据权利要求12所述的工业机器(200)，其中，所述移动装置包括机械地连接至所述移动结构元件(2)的电动机。

14.根据权利要求2和11所述的工业机器(200)，其中，所述控制单元(UC)适于接收所述第二电信号(SE2)以控制用于所述工件(4)的所述加工和/或测量装置(50)。

15.根据权利要求1所述的工业机器(200)，进一步包括用于保护所述干涉仪(20)的输出端口和所述测量靶(12)的且具有可变长度的结构(60)，所述结构(60)的一端连接至所述移动结构元件(2)，并从所述输出端口延伸至所述测量靶(12)，以限定电磁辐射可以传播的内部区域。

16.根据权利要求15所述的工业机器(200)，其中，所述保护结构(60)包括可伸缩地互相连接的多个管状元件。

17.根据权利要求15所述的工业机器(200)，其中，所述保护结构(60)为波纹管类型的。