[发明专利]X线检查装置

说明书

技术领域

本发明是一种X线检查装置，用以对工业产品等进行透视检查或CT检查等。

背景技术

在对工业产品等进行透视检查的X线检查装置中，配置有X线检测器，其对向于X线产生装置的X线源，且组合有图像增强器(以下简称为II)及CCD。最近，也利用应用了平面X线检测器的X线检查装置来代替包括II、CCD照相机的X线检测器。

上述X线检查装置中，于X线源与X线检测器之间配置有平台，并将被测定物载置于平台上，拍摄出X线透视像。

通常，于X线检查装置所进行的检查中，为对准位置或调整测定倍率、调整测定角度，而进行视野移动。视野移动是以如下所述的方式而进行的，即，一面移动平台，一面拍摄被测定物的X线透视动态图像，并以此而寻找被测定物的检查位置。继而，当找到检查位置时，停止视野移动，并于该状态下观察动态图像。

继而，于欲将所观察的检查位置的图像作为最终的检查数据而加以保存的情况下，在将视野固定于检查位置的状态下，拍摄动态图像，并保存着以作为静止图像。

但，X线透视测定中，根据X线产生装置的原理，X线会产生摇晃，因此通过X线检测器而对摇晃的X线加以检测且拍摄的X线透视像的帧(coma)图像数据(形成动态图像的每个图像数据)中，会包含闪烁噪声(FlickerNoise)。因此，在依次显示每个X线透视像的帧图像的动态图像显示中，也可观测到闪烁噪声。

先前，为减少该闪烁噪声，而将形成动态图像的多个帧图像储存于图像缓冲存储器中，对所储存的图像数据及最新的帧图像数据进行平均化处理(采取各像素的平均)而加以显示。经平均化处理后的平均化图像数据，由于作为闪烁原因的噪声成分被平均化，所以变得均匀。但，另一方面，动态图像显示中的帧图像数据的显示更新速度降低。

例如，如图8(a)所示，当根据来自X线检测器的拍摄信号，而依次制作帧图像数据1～4时，假设以2帧的帧图像数据为单位而进行平均化处理，则如图8(b)所示，重复进行下述处理，即，将2帧的帧图像数据储存在图像缓冲存储器中，对这些数据进行平均化处理演算，由此，制作出一个平均化图像数据，并对该平均化图像数据进行显示。于此情况下，以制作2帧的帧图像数据的时间间隔来更新平均化图像数据，因此使得更新的速度降低。进而，若进行多个帧图像数据的平均化，则更新速度相应地有所降低，其结果是，将不能显示平均化图像数据的连续的动态图像，而变成逐帧播放的动态图像显示。

在使用平面X线检测器作为X线检测器的情况下，上述状况变得显著。即，与使用有II及CCD照相机的X线检测器相比，平面X线检测器由于原来帧频(frame rate)小，所以易于进行逐帧播放的显示。

又，不仅在于显示装置的画面上进行动态图像显示的情况下，而且在保存检查结果并将其作为高精细的静止图像的情况下，也对固定时间(通常，至少为几秒左右)内所拍摄的动态图像(即，相当数量的帧图像)进行平均化处理，将经过该处理后的结果所获得的平均化图像数据保存，以作为静止图像数据。

通过以这种方式而对动态图像进行平均化处理，可以获得精细的静止图像，但越期望获得高精细的静止图像，所需的显示等待时间越长。

作为改善由平均化处理而导致的更新速度降低的另外的方法，也可实行递归滤波器(recursive filter)处理(例如，参照专利文献1)。递归滤波器处理是如下所述的图像处理方法，如图8(c)所示，藉由在最新的帧图像数据上，加上某一经加权的上一次的图像数据(上一次的图像数据自身也进而受到了其上一次的图像数据的递归滤波器处理)，以此进行补正，而使闪烁噪声减少。由此，可使更新速度与原来的帧图像数据的动态图像显示为相同水平，因此可通过递归滤波器处理而改善更新速度降低的问题。

又，在X线透视测定中，自改善画质的观点考虑，较好的是使像素数尽可能地增多，但伴随像素数增大，动态图像显示的负荷也将增大，所以图像数据的更新速度对应于像素数的增大而减慢。

为改善动态图像显示的更新速度，目前也实施了下述方法：实行如下所述的面元处理，即，将相邻的多个像素看作一个像素，而进行图像数据的制作，以此提高更新速度(例如，参照专利文献2)。

【专利文献1】日本专利特开2000-316835号公报

【专利文献2】日本专利特开2001-231779号公报

如上所述，可以通过对帧图像数据实行平均化处理，而消除闪烁噪声，但又会产生更新速度降低的问题。