[发明专利]互连结构及其形成方法无效
| 申请号： | 200710001838.2 | 申请日： | 2007-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN101000904A | 公开（公告）日： | 2007-07-18 |
| 发明（设计）人： | 尼古拉斯·C.·弗勒;蒂莫西·约瑟夫·达尔顿;萨特扬纳拉扬纳·文卡塔·尼塔 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L23/532;H01L21/768 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 互连 结构 及其 形成 方法 | ||
【权利要求书】：
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