[发明专利]有机EL涂敷装置及方法

权利要求书

1.一种有机EL涂敷装置，具有喷嘴，所述喷嘴包括具有内部空间的喷嘴本体和配置在所述喷嘴本体的前端部的前端部件，将在所述内部空间内流动的有机EL材料作为涂敷液由形成于所述前端部件上的小孔向基板吐出，其特征为，

在所述内部空间，在使所述涂敷液向所述小孔流通的流路上，且在所述内部空间侧，与所述小孔隔开，配置有过滤器，所述过滤器具有挠性，因在所述流路中压送的所述涂敷液的作用而向喷嘴前端侧挠曲，

所述流路上的所述过滤器与所述小孔的间隔设定为，与在流路中流动的所述涂敷液的最大吐出压力对应的所述过滤器的挠曲量相同。

2.如权利要求1所述的有机EL涂敷装置，其特征为，所述过滤器相对于所述喷嘴可装卸地设置。

3.如权利要求2所述的有机EL涂敷装置，其特征为，

所述过滤器可在所述喷嘴本体的内部空间中自由装卸，并且所述前端部件也可以相对于所述喷嘴本体自由装卸。

4.如权利要求3所述的有机EL涂敷装置，其特征为，所述喷嘴具有隔片，该隔片可在所述喷嘴本体的内部空间中自由插入和取出，并且在所述内部空间中，插入所述过滤器和所述前端部件之间、以规定所述过滤器和所述前端部件之间的间隔。