[发明专利]除去光致抗蚀剂残余物的pH缓冲含水清洁组合物和方法无效
| 申请号： | 200710002200.0 | 申请日： | 2007-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN101000469A | 公开（公告）日： | 2007-07-18 |
| 发明（设计）人： | A·吴;R·J·罗威托 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/26;C11D7/00;C11D3/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 韦欣华;段晓玲 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 除去 光致抗蚀剂 残余物 ph 缓冲 含水 清洁 组合 方法 | ||
【权利要求书】：
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