[发明专利]用以检测具有显微导体的图样成型装置的检测系统及方法有效
| 申请号： | 200710003640.8 | 申请日： | 2007-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101008622A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 拉斐尔－班·托利拉;欧佛·沙菲尔;伊米尔·柏拉斯基;伊利亚·莱瑟松 | 申请（专利权）人： | 以色列商奥宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/88;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 以色列雅*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用以 检测 具有 显微 导体 图样 成型 装置 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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