[发明专利]介质润滑剂的原位紫外固化

权利要求书

1.一种系统，该系统包括沉积室，该沉积室具有氙准分子灯，还包括用来将润滑剂沉积在所述沉积室内的入口，所述沉积室能够气相沉积润滑剂，还能够使所述润滑剂原位紫外曝光。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括源室，所述源室与所述沉积室连通。

3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述氙准分子灯所产生的能量中25％以上的波长等于或小于185纳米。

4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述氙准分子灯在真空下运行。

5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统不包括用冷却剂吹扫来冷却所述氙准分子灯。

6.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述沉积室处于真空条件之下。

7.一种方法，该方法包括在沉积室内，在磁性记录介质上沉积润滑剂，以及用来自氙准分子灯的辐射原位紫外辐照所述润滑剂。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，该方法还包括从源室向沉积室提供润滑剂，所述源室与所述沉积室连通。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，该方法还包括使用真空源对所述沉积室和源室进行抽气操作，使压力降至低于大气压。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括对源室内的所述润滑剂进行加热，使得源室内的压力高于沉积室内的压力。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，在沉积室内将润滑剂沉积在磁性记录介质上包括使所述磁性记录介质在沉积室中暴露于润滑剂足够的时间，从而在磁性记录介质的表面上沉积润滑剂顶涂层。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，在沉积室中，在磁性介质上沉积润滑剂的操作是在不大于约100托的压力下进行的。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，该方法还包括对源室中的所述润滑剂进行加热，还包括使用控制阀控制润滑剂在源室和沉积室之间的流动。

14.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述氙准分子灯所产生的能量中35％以上的波长等于或小于185纳米。

15.一种方法，该方法包括使用紫外辐射辐照润滑剂膜，所述紫外辐射由氙准分子灯发射，其波长相当于所述润滑剂膜的最大紫外辐射吸收波长，所述润滑剂薄膜包含至少一种全氟聚醚化合物和膦腈衍生物。

16.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述润滑剂薄膜形成于数据/信息存储和检索介质的表面上。

17.如权利要求16所述的方法，其特征在于，所述数据/信息存储和检索介质是圆盘形的磁性或磁-光(MO)记录介质。

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，所述介质包括形成在基片表面上的层叠结构，该层叠结构包含最上层的含碳(C)保护外涂层，所述润滑剂薄膜是与含碳(C)保护外涂层相接触地覆盖在所述含碳(C)保护外涂层的上面的顶涂层。

19.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述膦腈衍生物是二(4-氟苯氧基)-四(3-三氟甲基苯氧基)环三膦腈。

20.如权利要求15所述的方法，其特征在于，该方法还可包括通过在辐照过程中改变润滑剂薄膜的温度，从而改变所述润滑剂薄膜的最大紫外辐射吸收波长。