[发明专利]彩色滤光片的布局图案

说明书

技术领域

本发明涉及一种彩色滤光片的布局图案，尤其涉及一种在布局图案各角隅设有加大型彩色滤光片或延伸棱边以避免彩色滤光片剥离的彩色滤光片的布局图案。

背景技术

一般现有的彩色图像传感器可依其成像技术大略分为互补式金属氧化物半导体图像传感器(CMOS image sensor，CIS)和电荷耦合(CCD)传感器二种，其中互补式金属氧化物半导体图像传感器可利用半导体工艺制作，将图像感测和图像处理所需的元件制作在单一的芯片上，其应用范围遍布多种消费性的电子商品，例如数字相机、个人数字助理(PDA)和照像手机等等。

现有的CIS由下而上依序包括基底、多个光电二极管、金属内连线层、彩色滤光片阵列及多个微聚光镜(microlens)等多层结构共同组成多个感测图像的像素(pixel)。光线由最上层的微聚光镜进入CIS后，经过彩色滤光片将光线依其波长作分类，分类后的光线再到达下方的光电二极管产生对应强度的电子信号，并交由其他相关的元件处理和记录；而该些像素是井然有序地排列成包括多条行列的像素阵列(pixel array)，且该像素阵列可划分为负责感测图像的一有源感测区(active sensor region)的一有源像素阵列(activepixel array)以及在该有源感测区外围的一虚置像素阵列(dummy pixel array)，其中，该些虚置像素一方面是用以保护有源感测区的该有源像素阵列，另一方面来说，由该虚置像素阵列所产生的信号可以作为该有源感测区中该有源像素阵列所产生的信号的参考值，藉此校正因CIS结构所造成的信号误差。

请参考图1，其绘示典型现有CIS的彩色滤光片阵列10的示意图，彩色滤光片阵列10是涵盖CIS的该有源感测区的该些有源像素阵列及该有源感测区周边的该些虚置像素阵列，其包括多个红色(R)滤光片12、多个绿色(G)滤光片14及多个蓝色(B)滤光片16等不同颜色的彩色滤光片，且每四个彩色滤光片(G、R、G、B)构成一个单位，彼此相邻排列成马赛克(mosaic)式的彩色滤光片阵列10，藉此分离不同波长的光线，进而达成感测彩色图像的目的。

以目前的工艺技术来说，制作彩色滤光片阵列时皆利用彩色光致抗蚀剂依其颜色依序经过涂布、曝光、显影、烘烤等工艺，在一基底表面上逐次制作出一种颜色的彩色滤光片，然后再共同拼凑出完整的彩色滤光片阵列。然而，请参考图2，由左到右依序为制作完成的红色彩色滤光片、绿色彩色滤光片及蓝色彩色滤光片的剖面图，以负光致抗蚀剂为材料的彩色滤光片为例，在制作完成后，由于构成彩色光致抗蚀剂的感光材料特性的差异，不同颜色的彩色滤光片会有着不同剖面结构，因此在显影、清洗等工艺后，常会发生彩色滤光片自该基底表面剥离(pealing)的现象，当中尤以底面积最小的蓝色彩色滤光片最容易发生剥离的情形；此外，如图3所示，图3为设于有源感测区外围的虚置像素阵列上彩色滤光片阵列的一部分结构的示意图，可以清楚地观察到在边缘和角隅(corner)都有剥离的彩色滤光片，根据统计，剥离的彩色滤光片中有80％是来自位于彩色滤光片阵列的角隅，这些剥离的彩色滤光片严重影响产品的良率，为产品良率无法提升的主要原因之一。

发明内容

针对上述现有彩色滤光片阵列的缺点，本发明的一目的在于提供一种彩色滤光片的布局图案，特别是一种在布局图案各角隅设置加大型彩色滤光片或延伸棱边，以降低彩色滤光片自布局图案角隅剥离的机率。

为达上述的目的，本发明提供一种彩色滤光片的布局图案，该布局图案包括排列为一矩阵的多个彩色滤光片以及分别设置于该矩阵的各角隅的多个加大型彩色滤光片(enlarged color filter)，其中，各该加大型彩色滤光片的面积大于各该彩色滤光片，以降低自该布局图案角隅剥离的可能性。

为达上述的目的，本发明另提供一种彩色滤光片的布局图案，该布局图案包括排列为一矩阵的多个彩色滤光片以及多个延伸棱边(extendededge)，其中，该些延伸棱边是设于该矩阵的各角隅的并与设于各角隅的各该彩色滤光片连接。

据此，本发明所提供的彩色滤光片的布局图案是适用于有源感测区的有源像素阵列上的彩色滤光片阵列配置、有源像素阵列外围虚置像素阵列上的彩色滤光片的彩色滤光片阵列配置或前述两个区域的彩色滤光片阵列配置，并可有效防止彩色滤光片的剥离，并显著提升产品的良率。

附图说明

图1是绘示典型现有CIS的彩色滤光片阵列的示意图；

图2为制作完成的红色彩色滤光片、绿色彩色滤光片及蓝色彩色滤光片的剖面图；