[发明专利]铝类金属膜及钼类金属膜的层叠膜用蚀刻液无效
| 申请号： | 200710004020.6 | 申请日： | 2007-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN101003902A | 公开（公告）日： | 2007-07-25 |
| 发明（设计）人： | 清水寿和 | 申请（专利权）人： | 关东化学株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/20;C23F1/26 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属膜 层叠 蚀刻 | ||
【说明书】：
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