[发明专利]涂敷方法、涂敷装置以及涂敷处理程序有效
申请号: | 200710004022.5 | 申请日: | 2007-01-19 |
公开(公告)号: | CN101003041A | 公开(公告)日: | 2007-07-25 |
发明(设计)人: | 藤田直纪;绪方庸元;若元幸浩 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | B05D1/02 | 分类号: | B05D1/02;B05B13/04;B05B13/02;B05C11/10;G05D3/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 温大鹏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 方法 装置 以及 处理 程序 | ||
【说明书】:
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