[发明专利]半导体制造的共用仓储储位的处理系统与方法

权利要求书

1. 一种共用仓储储位的处理方法，其适用于第一晶片厂与第二晶片厂之间的晶片盒传送，其中，该第一晶片厂包括至少一个第一晶片厂区之间的悬吊式穿梭车、第一晶片厂区内的悬吊式运送车与第一悬吊式暂存装置，该第二晶片厂包括至少一个第二晶片厂区之间的悬吊式穿梭车、第二晶片厂区内的悬吊式运送车与第二悬吊式暂存装置，该处理方法包括下列步骤：

通过该第一晶片厂区内的悬吊式运送车取得晶片盒；

将该晶片盒放置在该第一悬吊式暂存装置上；以及

通过该第一晶片厂区之间的悬吊式穿梭车自该第一悬吊式暂存装置上将该晶片盒取走。

2. 一种共用仓储储位的处理方法，其适用于第一晶片厂与第二晶片厂之间的晶片盒传送，其中，该第一晶片厂包括至少一个第一晶片厂区之间的悬吊式穿梭车、第一晶片厂区内的悬吊式运送车与第一悬吊式暂存装置，该第二晶片厂包括至少一个第二晶片厂区之间的悬吊式穿梭车、第二晶片厂区内的悬吊式运送车与第二悬吊式暂存装置，该处理方法包括下列步骤：

通过该第二晶片厂区之间的悬吊式穿梭车取得晶片盒；

将该晶片盒放置在该第二悬吊式暂存装置上；以及

通过该第二晶片厂区内的悬吊式运送车自该第二悬吊式暂存装置上将该晶片盒取走。

3. 一种共用仓储储位的处理方法，其适用于第一晶片厂与第二晶片厂之间的晶片盒传送，其中，该第一晶片厂包括至少一个第一晶片厂区之间的悬吊式穿梭车、第一晶片厂区内的悬吊式运送车与第一悬吊式暂存装置，该第二晶片厂包括至少一个第二晶片厂区之间的悬吊式穿梭车、第二晶片厂区内的悬吊式运送车与第二悬吊式暂存装置，该处理方法包括下列步骤：

通过该第一晶片厂区之间的悬吊式穿梭车将晶片盒放在该第一悬吊式暂存装置或该第二悬吊式暂存装置上；以及

通过该第二晶片厂区之间的悬吊式穿梭车直接自该第一悬吊式暂存装置或该第二悬吊式暂存装置取走该晶片盒。

4. 一种共用仓储储位的处理方法，其适用于第一晶片厂与第二晶片厂之间的晶片盒传送，其中，该第一晶片厂包括至少一个第一晶片厂区之间的悬吊式穿梭车、第一晶片厂区内之悬吊式运送车与第一悬吊式暂存装置，该第二晶片厂包括至少一个第二晶片厂区之间的悬吊式穿梭车、第二晶片厂区内的悬吊式运送车与第二悬吊式暂存装置，该处理方法包括下列步骤：

通过该第一晶片厂区之间的悬吊式穿梭车将晶片盒放在该第二悬吊式暂存装置上；以及

通过该第二晶片厂区内的悬吊式运送车直接自该第二悬吊式暂存装置取走该晶片盒。

5. 一种共用仓储储位的处理系统，包括：

第一悬吊式暂存装置；

第一晶片厂区内的悬吊式运送车，其用以取得晶片盒，并且将该晶片盒放置在该第一悬吊式暂存装置上；以及

第一晶片厂区之间的悬吊式穿梭车，其用以自该第一悬吊式暂存装置上将该晶片盒取走。

6. 一种共用仓储储位的处理系统，包括：

第二悬吊式暂存装置；

第二晶片厂区之间的悬吊式穿梭车，其用以取得晶片盒，并且将该晶片盒放置在该第二悬吊式暂存装置上；以及

第二晶片厂区内的悬吊式运送车，其用以自该第二悬吊式暂存装置上将该晶片盒取走。

7. 一种共用仓储储位的处理系统，包括：

第一悬吊式暂存装置；

第二悬吊式暂存装置；

第一晶片厂区之间的悬吊式穿梭车，其用以将晶片盒放在该第一悬吊式暂存装置或该第二悬吊式暂存装置上；以及

第二晶片厂区之间的悬吊式穿梭车，其用以直接自该第一悬吊式暂存装置或该第二悬吊式暂存装置取走该晶片盒。

8. 一种共用仓储储位的处理系统，包括：

第二悬吊式暂存装置；

第一晶片厂区之间的悬吊式穿梭车，其用以将晶片盒放在该第二悬吊式暂存装置上；以及

第二晶片厂区内的悬吊式运送车，其用以直接自该第二悬吊式暂存装置取走该晶片盒。