[发明专利]器件制造方法和计算机程序产品有效
| 申请号： | 200710005123.4 | 申请日： | 2007-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN101025571A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | R·J·F·范哈伦;M·范德沙尔;E·弗鲁格登希尔;H·塞维尔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;ASML控股有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00;H01L21/027;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王小衡;陈景峻 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 器件 制造 方法 计算机 程序 产品 | ||
【说明书】：
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