[发明专利]XYθ移动载台有效
| 申请号： | 200710005462.2 | 申请日： | 2007-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101017331A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 田中米太 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | xy 移动 | ||
【说明书】：
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