[发明专利]金属层及其形成方法、光传送模块、以及热辅助磁记录头

权利要求书

1.一种金属层，包括孔洞，该孔洞具有不同大小的入口和出口以及弯曲的侧表面。

2.如权利要求1的金属层，其中该孔洞由于该金属层的脊而具有C形。

3.如权利要求2的金属层，其中该脊的截面大小在该脊的起点朝向该脊的终点改变。

4.如权利要求1的金属层，其中在该孔洞的该入口和该出口之间的随机位置处取得的该孔洞的截面形状是允许入射到该孔洞的光的谐振的形状。

5.如权利要求2的金属层，其中在该孔洞的该入口和该出口之间的随机位置处取得的该孔洞的截面形状是允许入射到该孔洞的光的谐振的形状。

6.如权利要求5的金属层，其中在该孔洞的该入口和该出口之间的随机位置处该孔洞的沿长轴的宽度a由下面的公式确定：

a＝(a₀+a₁z+a₂z²)M，

其中a₀为3.96231，a₁为-0.00137，a₂为-0.0002，z表示该入口与该随机位置之间的距离，M是入射到该孔洞的光的特性确定的常数且表示所述脊的端部与面对该端部的该金属层之间的最短距离。

7.如权利要求5的金属层，其中该脊在该孔洞的该入口(z＝0)和该出口(z＝t)之间的该随机位置(z)处的宽度(s)由下面的公式确定：

s＝-(2M/t)z+3M，

其中M是入射到该孔洞的光的特性确定的常数且表示所述脊的端部与面对该端部的该金属层之间的最短距离。

8.如权利要求1的金属层，还包括围绕该孔洞的该入口形成的凹槽。

9.一种光传送模块，包括：

光波导；以及

金属层，附着到该光波导的输出端并具有权利要求1的所述孔洞。

10.如权利要求9的光传送模块，其中该孔洞是逐渐缩减型孔洞。

11.如权利要求9的光传送模块，其中该孔洞的入口的宽度和高度中的至少一个大于该孔洞的出口的宽度或高度。

12.如权利要求9的光传送模块，其中该孔洞包括一入口，该入口具有允许入射光的谐振的形状。

13.如权利要求9的光传送模块，其中该孔洞包括一出口，该出口具有允许入射光的谐振的形状。

14.如权利要求9的光传送模块，其中该孔洞包括具有相同面积的入口和出口。

15.如权利要求9的光传送模块，其中该孔洞具有在该孔洞的入口和出口之间取得的截面形状，该截面形状允许入射光的谐振。

16.如权利要求9的光传送模块，其中该孔洞具有分成第一部分和两个第二部分的截面，该第一部分具有矩形形状，所述两个第二部分在与该第一部分垂直的方向上沿该第一部分的长轴从该第一部分的两侧延伸并彼此间隔开，

其中在该孔洞的入口(z＝0)和出口(z＝t)之间的位置(z)处该第一部分沿该长轴的长度、所述第二部分延伸的长度、该第一部分沿短轴的长度、以及所述两个第二部分之间的距离由下面的公式确定：

a＝(a₀+a₁z+a₂z²)M，

b＝2M，

d＝M，

s＝-(2M/t)z+3M，

其中a表示该第一部分沿其长轴的长度，a₀＝3.96231，a₁＝-0.00137，a₂＝-0.0002，d表示该第一部分沿其短轴的长度，b/2表示所述第二部分延伸的长度，s表示所述两个第二部分之间的距离，t表示该金属层的厚度(即该孔洞的深度)，M是常数。