[发明专利]喷墨装置及方法

说明书

【技术领域】

本发明是有关一种喷墨装置，特别是一种应用于基板的喷墨装置及方法。

【背景技术】

高精密度喷墨装置以喷墨控制器驱动喷墨头或喷墨元件，其产生喷墨相对于第一点喷墨位置而产生喷墨行为，一般而言，第一点喷墨位置以试误法定位一喷墨位置，即以人工方式找出喷墨信号启动位置。不同喷墨基板会有不同的喷墨信号启动位置，所以更换喷墨基板时需重新定位，耗费时间及人工。

图1所示为已有喷墨制程的示意图，喷嘴装置31接收喷墨信号后将墨滴32喷落于基板80的喷墨图案81的位置，其中喷墨的位置相对于一喷墨启动点(图上未示)的位置而定。一旦喷墨启动点错误，则所有墨滴32的位置亦错误，因此喷墨启动点于喷嘴装置31进行喷墨制程中扮演重要角色，然目前喷墨启动点以试误法决定，不同基板又需要重新定位，极为耗时费功。

其次，于喷墨制程中需要控制基板载台的速度、判断喷墨启动点的位置及喷墨频率，如图2所示为一般的喷墨装置的喷墨控制流程，其步骤如下：

步骤91，设定基板载台速度及设定喷墨启动点。步骤92，喷墨于基板的喷墨图案上，依据已设定的喷墨频率将墨滴喷射于设定的喷墨区域。步骤93，判断第一点喷墨位置是否正确，第一点喷墨位置影响喷墨是否能正确喷射于喷墨图案上，若是错误，将影响后续所有的喷墨行为，目前以试误法找出其喷墨启动点，若是喷墨启动点错误则重新进行步骤91、92。步骤94，当喷墨启动点正确，则进行喷墨程序至喷墨结束。

由上述可知开发新喷墨装置及新的喷墨制程仍为高精密度喷墨制程的一重要课题。

【发明内容】

为了解决上述问题，本发明之的一目的是提供一种喷墨装置，取代已有的试误法，采用检测一喷墨标示以启动喷墨行为。

本发明之的另一目的是提供一种高精密度喷墨方法，控制喷墨时的载台速度、喷墨频率及依据喷墨标示的信号藉以启动喷墨行为。

为了达到上述目的，本发明一实施例的喷墨装置，包括主控制器；一影像感测控制器设置于主控制器与一影像感测装置之间，用以控制影像感测装置；一喷墨控制器设置于主控制器与一喷嘴之间，用以控制喷嘴的喷墨行为；一喷墨频率控制器设置于主控制器与一频率接收器之间，用以控制频率接收器以产生喷墨信号；一基板载台与主控制器连接，用以承载基板；一马达位置回授控制器包含多个位置感应器，设置于主控制器及位置感应器之间，以计算基板载台的位置及旋转角度，并产生位置调整信号；一马达驱动回路包含与位置感应器对应的多个马达，设置于主控制器及马达之间，依据位置调整信号，用以移动基板载台及旋转至正确的位置及角度。

其次，本发明的实施例的基板载台的位置感应装置用以检测基板上喷墨标示的位置及方向，通常具有四个位置感应装置以分别标示出喷墨标示的X、Y、Z及角度，多个马达分别设置对应于位置感应装置，经由马达驱动回路移动基板载台至正确的位置及方向。

再者，本发明一实施例的喷墨方法，依据喷墨标示而产生喷墨行为，提供一具有喷墨图案及喷墨标示的基板后，设定喷墨装置的基板载台的移动速率。利用检测喷墨标示以产生一喷墨信号并计算出其喷墨频率后产生喷墨频率信号。之后根据喷墨频率信号产生喷墨行为。喷墨频率为基板载台的移动速率与二喷墨标示间的距离的比值，若使用倍频驱动，则为比值的整数倍。

于本发明的一实施例中的喷墨标示可表示位置及方向，一般以一矩形阵列图案作为喷墨标示。喷墨图案是喷墨区域，若应用于薄膜晶体管阵列基板，则为薄膜晶体管阵列的图案；若应用于彩色滤光基板，则为像素阵列的图案。

由于本发明利用一种启动喷墨标示来启动喷墨行为，避免已有的试误法中需要不断校正及重新设定的步骤，对整个喷墨方法而言能省去试误法的繁杂步骤。

【附图说明】

图1所示为已有的喷墨装置的喷墨示意图。

图2所示为已有的喷墨方法流程图。

图3所示为根据本发明一实施例的喷墨装置示意图。

图4所示为根据本发明的一实施例的喷墨基板俯视示意图。

图5所示为根据本发明的另一实施例的喷墨基板俯视示意图。

图6A、6B及6C所示为根据本发明一实施例的喷墨基板制程在不同阶段的侧面剖视示意图。

图7所示为根据本发明的一实施例的喷墨标示图案示意图。

图8所示为根据本发明的一实施例的喷墨方法的流程图。

【具体实施方式】

利用启动喷墨标示进行喷墨的技术需要喷墨装置、喷墨图案及喷墨方法三部份配合，以下以实施例并配合图式以说明本发明的内容。