[发明专利]一种物理气相沉积设备与工艺无效
| 申请号： | 200710008556.5 | 申请日： | 2007-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN101012546A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 侯梦斌 | 申请（专利权）人： | 侯梦斌 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350009福建省福州市白*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 设备 工艺 | ||
【说明书】：
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