[发明专利]一种适用于切削工具的超细晶金刚石涂层的制备方法

权利要求书

1.一种适用于切削工具的超细晶金刚石涂层的制备方法，其特征在于：它包括如下步骤：

a.将切削工具基体装入沉积反应室内；

b.将沉积反应室抽成真空状态；

c.在沉积反应室内形成磁场；

d.向安装在沉积反应室内的阴极、阳极之间施加高电流直流电弧以及向沉积反应室内通入氩气Ar、氢气H₂和甲烷CH₄三种气体；

其中，施加的电弧电流为150A～250A；

通入的甲烷CH₄/氢气H₂的比例为0.5～10％；

通入的氩气Ar流量为2000～4000sccm；

e.在沉积反应室中，气体CH₄在电弧的作用下会产生碳C自由基，在一定的温度条件下碳C自由基沉积到切削工具基体表面转换成多晶金刚石薄膜；

其中，沉积反应室内的温度为600℃～1000℃；

工作压力为0.9mbar～2mbar；

沉积时间为3～30h。

2.根据权利要求1所述的一种适用于切削工具的超细晶金刚石涂层的制备方法，其特征在于：所述金刚石超细晶粒为0.3～1μm。

3.根据权利要求1所述的一种适用于切削工具的超细晶金刚石涂层的制备方法，其特征在于：所述沉积反应室内的磁场由安装在沉积反应室外的线圈产生。