[发明专利]氩气放电检测装置及方法

权利要求书

1.一种氩气放电检测装置，其特征在于包括池体(1)、检测室(2)、光电传感器(7)、分析仪(8)和色谱柱(9)；所述池体(1)内设有狭窄通路组成的检测室(2)，检测室(2)的两端装有阳电极(5)和阴电极(6)，在两端同时设有进气口(3)和出气口(4)；所述进气口(3)与色谱柱(9)相连，在池体下端(6)处装有光电传感器(7)；使用时色谱柱(9)向进气口(3)通入气体，同时在两极间加上高压电压使其产生辉光放电，在通过光电传感器(7)进行采集将其转换成电流信号传入分析仪(8)内对采集信号进行分析。

2.根据权利要求1所述的氩气放电检测装置，其特征在于所述池体(1)为流动池类池体。

3.根据权利要求1或2所述的氩气放电检测装置，其特征在于池体体积为30-300微升、光程为3-50毫米。

4.根据权利要求1所述的氩气放电检测装置，其特征在于所述阳电极(5)接地，阴电极(6)接  600v-1400v负高压。

5.根据权利要求4所述的氩气放电检测装置，其特征在于所述光电传感器(7)位于池体(1)的下端阴电极(6)处。

6.一种采用权利要求1所述氩气放电检测装置的方法，其特征在于包括如下步骤：

a、先向色谱柱内通入作为载气的高纯氩气，同时在两极间加上高电压使气体辉光放电；

b、将待测氩气样品通入色谱柱(9)内，并将其含有的各种杂质分离后(3)进入检测室(2)内；

c、用光电传感器(7)将光信号转换成电流信号，在通过放大器放大后(8)观察信号的变化，同时进行记录。

7.根据权利要求6所述的采用氩气放电检测装置的方法，其特征在于所述的高纯氩载气纯度至少为7N级。

8.根据权利要求6所述的采用氩气放电检测装置的方法，其特征在于所述步骤a还包括通过光电传感器(7)和放大器(8)检测光的强度是否达到稳定的步骤。

9.根据权利要求6所述的氩气放电检测装置，其特征在于阳电极(5)接地，阴电极(6)接入600v-1400v负高压。