[发明专利]过滤器全采样粒子计数器法捡漏

权利要求书

1.一种涉及在洁净室(区)可能产生泄漏区域进行捡漏(泄漏)试验的方法。其特征在于，在捡漏(泄漏)试验的区域下风侧，使穿过捡漏(泄漏)试验区域的气流全部被采集并记录气流粒子浓度，与根据无泄漏时粒子浓度限定的粒子浓度及其范围比较，判定捡漏(泄漏)试验区域是否产生泄漏。

2.根据权利1所述捡漏(泄漏)试验的方法，其特征在于，它包含有一种或一种以上机构使穿过捡漏(泄漏)试验区域的气流全部被采集。(引用说明书附图1标记：(3)全采样器)

3.根据权利1、2所述捡漏(泄漏)试验的方法，其特征在于，它包含有一种或一种以上机构使记录的气流粒子浓度反映全部被采集气流的粒子浓度。(引用说明书附图1标记：(5)混合器(6)空气充分混合处(7)直管段  (8)截面风速均一处)

4.根据权利3所述捡漏(泄漏)试验的方法，其特征在于，它包含有一种或一种以上机构对全部被采集的气流采样。(引用说明书附图1标记：(9)采样管)

5.根据权利3所述捡漏(泄漏)试验的方法，其特征在于，它包含有一种或一种以上机构消除除全部被采集气流外的粒子对捡漏(泄漏)试验的影响。(引用说明书附图1标记：(4)空气过滤装置)

6.根据权利4所述捡漏(泄漏)试验的方法，其特征在于，它包含有一种或一种以上机构消除除全部被采集气流外的粒子对捡漏(泄漏)试验的影响。(引用说明书附图1标记：(4)空气过滤装置)

7.根据权利1、2所述捡漏(泄漏)试验的方法，其特征在于，它包含有一种或一种以上机构对全部被采集的气流采样。(引用说明书附图1标记：(9)采样管)

8.根据权利7所述捡漏(泄漏)试验的方法，其特征在于，它包含有一种或一种以上机构消除除全部被采集气流外的粒子对捡漏(泄漏)试验的影响。(引用说明书附图1标记：(4)空气过滤装置)

9.根据权利1、2所述捡漏(泄漏)试验的方法，其特征在于，它包含有一种或一种以上机构消除除全部被采集气流外的粒子对捡漏(泄漏)试验的影响。(引用说明书附图1标记：(4)空气过滤装置)

10.根据权利1所述捡漏(泄漏)试验的方法，其特征在于，它包含有对记录的气流粒子浓度进行统计，加以判断。

11.根据权利1、10所述捡漏(泄漏)试验的方法，其特征在于，它包含有通过记录的气流粒子浓度，计算判定过滤器效率、穿透率。