[发明专利]一种氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料的制备方法

权利要求书

1.一种氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料的制备方法，其特征在于按照如下步骤操作：第一步，将本底材料在丙酮中浸泡，然后用蒸馏水冲洗，再用酒精清洗，烘干，冷却后备用；第二步，以厚度为1-2mm的聚四氟乙烯片材为溅射靶，以惰性气体为载气，利用磁控溅射法在本底材料上沉积一层氟碳高分子膜；本底材料作为阳极，阴极为溅射靶，每次换靶后先预溅射10分钟，两电极均通入自来水进行冷却；先将反应室抽真空至压力为2×10^-3Pa，然后再通入载气，调节载气进气阀至溅射室内的压力为0.0001-50Pa，调节功率控制器至100W-1500W，工作气体流量介于1-1500sccm之间，而后打开频率为13.56MHz、功率为0.1-25W/cm²的射频电源，调节起辉，沉积30秒-360分钟后取出；第三步，以厚度为0.1mm-1mm的金属锌为靶材，将溅射一层氟碳高分子膜的本底材料重新放回真空反应室，再将反应室抽真空至压力为2×10^-3Pa，以惰性气体为载气，以氧气为反应气体，且氧气和载气的体积比为3∶1，利用磁控溅射法在与沉积氟碳高分子膜相同的压力和功率下，溅射30秒-90分钟，在氟碳高分子膜上再沉积一层Zn0，得到氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料。

2.根据权利要求1所述的一种氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料的制备方法，其特征在于使用的本底材料既包括由天然纤维、化学合成纤维、人造纤维单独纺织而成的织物，也包括由天然纤维、化学合成纤维、人造纤维混纺而成的织物，还包括PET、PI、PA软化点在100℃以上的聚合物薄膜。

3.根据权利要求1所述的一种氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料的制备方法，其特征在于溅射前先进行预溅射，在两电极间插入一块金属档板，先抽真空至0.0001Pa，然后通入载气，在压力0.0001-50Pa，功率0.1-25W/cm²下清洗靶材10分钟。

4.根据权利要求1所述的一种氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料的制备方法，其特征在于靶材与靶座的粘合剂采用α-氰基丙烯酸乙酯胶，溅射时靶材与本底要保持平行，其间距为40mm-70mm。

5.根据权利要求1所述的一种氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料的制备方法，其特征在于载气是He、Ne、Ar、Kr、Xe或上述气体中任意种类、任意比例的组合。

6.根据权利要求1所述的一种氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料的制备方法，其特征在于这种材料由三层构成，最底层是本底材料，中间一层是由纳米粒子和纳米微孔构成的网络状结构组成的氟碳高分子微孔膜，氟碳高分子膜的颗粒及孔径范围在1-0.005微米之间；表层是由纳米粒子和纳米微孔构成的勾连结构组成的氧化锌微孔膜，氧化锌微粒及孔径的范围在2-0.01微米之间。