[发明专利]一种制备纳米材料的真空管式炉

权利要求书

1、一种制备纳米材料的真空管式炉，它包括密封的真空室(2)，所述真空室(2)设置在炉体(1)内，所述真空室(2)设有用于输送源材料蒸气的载气(11)和用于与源材料蒸气反应的载气(12)，真空室(2)内气流下游处设置有衬底(7)，其特征是：该真空室(2)连接有至少一个能控制和调节源材料蒸发速率的源材料蒸发器(16)，所述源材料蒸发器(16)连接在真空室(2)垂直于气流方向的一端。

2、根据权利要求1所述的制备纳米材料的真空管式炉，其特征是：所述源材料蒸发器(16)包括端盖(20)、导线(21)、套筒(22)、密封材料(25)、蒸发套(26)、电热丝(27)；所述套筒(22)的一端插入所述蒸发套(26)中，套筒(22)的另一端连接端盖(20)，导线(21)穿过端盖(20)和套筒(22)与蒸发套(26)内的电热丝(27)相连，在所述蒸发套(26)上设有圆形开口(28)。

3、根据权利要求1或2所述的制备纳米材料的真空管式炉，其特征是：所述源材料蒸发器(16)通过密封端头(3)与真空室(2)连接。

4、根据权利要求1所述的制备纳米材料的真空管式炉，其特征是：所述真空室(2)设有磁用推杆(5)。

5、根据权利要求4所述的制备纳米材料的真空管式炉，其特征是：所述磁用推杆(5)通过密封端头(3)与真空室(2)磁用推杆(5)相连。

6、根据权利要求1所述的制备纳米材料的真空管式炉，其特征是：所述真空室(2)沿气流方向的一端通过密封端头(3)连接有载气系统(11、12)。

7、根据权利要求3或5或6所述的制备纳米材料的真空管式炉，其特征是：所述密封端头(3)连有冷却水系统(10)。

8、根据权利要求7所述的制备纳米材料的真空管式炉，其特征是：所述密封端头(3)与真空室(2)之间设有O型密封圈(9)。

9、根据权利要求1所述的制备纳米材料的真空管式炉，其特征是：所述真空室(2)设有热电偶(17)。