[发明专利]真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种炉用保温装置，具体涉及一种真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置。

背景技术

目前，制备炭/炭复合材料的常用设备为真空感应气相沉积炉，这种气相沉积炉主要靠感应圈感应石墨发热体来升高炉内温度，通常温度可达到850℃-1200℃范围内。为了提高真空感应气相沉积炉的保温效果，减少工作过程中的热量损耗以及降低工作过程中的电耗，节约成本，通常要在石墨发热体外包裹多层炭毡保温料。目前市售炭毡价格在200元/公斤，以Φ630×1500mm的发热体为例，每次包裹石墨发热体约需炭毡60公斤，因此每包裹一次，约花费1.2万元。而且保温炭毡的使用寿命较短，连续使用3个月后，容易沉炭变硬，使保温效果降低，能耗增大，因此又需要更换新的炭毡保温料。此外，炭毡保温料在包裹过程中会产生大量微细的炭毛，很容易吸入工作人员体内，影响身体健康。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术的不足，而提供一种保温效果好，使用寿命长，操作简便的真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置，以降低电耗，节约成本。

为实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置，它由泡沫炭保温盖、泡沫炭保温桶和泡沫炭保温底座组成，泡沫炭保温底座设置在真空感应气相沉积炉的底座上，泡沫炭保温桶套在石墨发热体的外面，并与石墨发热体一起置于泡沫炭保温底座的上面，泡沫炭保温盖设置在泡沫炭保温桶的上面，泡沫炭保温盖上开有通气孔，其特征在于所述泡沫炭保温盖内面贴有一层柔性石墨板，所述泡沫炭保温桶内面贴有一层柔性石墨板，所述泡沫炭保温底座内面贴有一层柔性石墨板，其特征在于所述泡沫炭保温桶和石墨发热体之间留有5-40毫米的间隙。

本发明与现有技术相比具有以下优点：

(1)由于泡沫炭保温盖、泡沫炭保温桶和泡沫炭保温底座组成的保温结构由泡沫炭材料制备而成，其内部均匀分散有大量气孔，致使传热速率慢，与炭毡保温材料相比，可使热功率降低20％-30％。

(2)由于泡沫炭保温盖、泡沫炭保温桶和泡沫炭保温底座的所有内型面上都牢固、平整地贴有一层2-6mm的柔性石墨板，防止了气相沉积过程中热解炭沉积到泡沫炭的孔隙中，降低泡沫炭材料的保温效果，延长了泡沫炭保温材料的使用寿命3-5倍，降低了更换成本。

(3)由于泡沫炭保温材料的密度低、重量轻、固定成型，因而拆卸方便，简化了操作。

(4)与炭毡保温料相比，泡沫炭保温材料在使用过程中不会产生诸如炭毛之内的微尘，有利于净化工作环境，保护工作人员的身体健康。

(5)本装置主要用于真空感应气相沉积炉的保温装置，具有保温效果好，使用寿命长，操作简便等特点。

附图说明

下面结合附图对本发明做进一步说明。

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明由泡沫炭保温盖1、泡沫炭保温桶3和泡沫炭保温底座4组成，泡沫炭保温底座4设置在真空感应气相沉积炉的底座5上，泡沫炭保温桶3套在石墨发热体2的外面，并与石墨发热体2一起置于泡沫炭保温底座4的上面，泡沫炭保温盖1设置在泡沫炭保温桶3的上面，泡沫炭保温盖1上开有通气孔6。由泡沫炭保温盖1、泡沫炭保温桶3和泡沫炭保温底座4组成的保温装置可以有效提高真空感应炉的保温效果，降低热量损耗。所述通气孔6为圆孔，其直径为200毫米，便于工作时气相沉积炉炉内已反应气体的排放。

如图1所示，为了防止气相沉积过程中热解炭沉积到泡沫炭的孔隙中，从而降低泡沫炭材料的保温效果，所述泡沫炭保温盖1、泡沫炭保温桶3、泡沫炭保温底座4内面上均牢固、平整地贴有一层厚度为2-6毫米的柔性石墨板7。这样延长了泡沫炭保温材料的使用寿命3-5倍，降低了更换成本。

如图1所示，所述泡沫炭保温桶3和石墨发热体2之间留有5-40毫米的间隙。一方面有利于泡沫炭保温桶3在石墨发热体2上的装卸，另一方面防止石墨发热体2受热膨胀后破坏泡沫炭保温桶3。

如图1所示，为了防止高温下石墨发热体2膨胀，将泡沫炭保温盖1顶起来，从而降低了保温效果，所述泡沫炭保温盖1与石墨发热体2之间留有20-60毫米的间隙。